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基于导模共振耦合腔的超窄线宽VCSEL的设计与模拟研究

一、引言

1.1研究背景与意义

垂直腔面发射激光器（VCSEL）作为一种重要的半导体激光器，自问世以来便凭借其独特的结构和优异的性能在众多领域得到了广泛应用。在光通信领域，随着数据流量的爆炸式增长，对高速、大容量的光传输需求日益迫切，VCSEL以其易于集成、高速调制等特性，成为短距离光互连的关键器件，广泛应用于数据中心、5G通信等场景，极大地推动了信息传输的效率和速度。在3D传感领域，VCSEL被大量应用于人脸识别、手势侦测以及自动驾驶的激光雷达系统中。其能够发射出垂直于衬底的激光束，易于实现二维阵列集成，为获取高精度的三维信息提供了可靠的光源保障，有力地促进了消费电子、智能安防、汽车辅助驾驶等产业的发展。在医疗领域，VCSEL的高稳定性和精确的波长控制使其在激光治疗、生物传感等方面发挥着重要作用，例如在激光手术中，VCSEL可作为精准的手术刀，减少对周围组织的损伤；在生物检测中，可用于激发荧光标记物，实现对生物分子的高灵敏度检测。

然而，在许多高端应用中，VCSEL的性能仍面临挑战，其中光谱线宽是一个关键限制因素。线宽较宽会导致信号在传输过程中的色散增加，从而限制了光通信系统的传输距离和数据速率。在光通信中，当信号在光纤中传输时，较宽的线宽会使不同频率成分的光传播速度产生差异，随着传输距离的增加，这种差异会导致信号脉冲展宽，相邻脉冲之间发生重叠，从而产生误码，严重影响通信质量。在3D传感应用中，较宽的线宽会降低距离测量的精度，因为线宽较宽意味着激光的频率稳定性较差，在测量物体距离时，由于频率的波动会导致测量结果出现偏差，无法满足高精度3D成像的要求。在原子传感、高分辨率光谱学等前沿领域，VCSEL的线宽必须与原子的自然线宽相匹配，才能实现对原子能级的精确探测和操控，而传统VCSEL的线宽远远无法满足这些需求。例如，在原子钟中，需要精确的频率参考来实现高精度的时间测量，较宽的线宽会导致频率不稳定，从而影响原子钟的计时精度。因此，开发超窄线宽的VCSEL对于提升其在各个领域的性能表现、拓展应用范围具有至关重要的意义。它不仅能够推动现有应用的进一步发展，还将为一些新兴领域，如量子通信、量子计算等提供关键的光源支持，促进这些领域的技术突破和产业变革。

1.2研究现状

传统的VCSEL由于其短腔结构，本征线宽通常在50-100MHz的范围。为了压窄VCSEL的线宽，研究人员提出了多种方法。早期的研究主要集中在减小线宽增强因子和增加谐振腔长度等方面。减小线宽增强因子需要对半导体材料的能带结构进行精确设计和调控，这涉及到复杂的材料生长工艺和理论计算。通过优化量子阱结构、引入应变等手段，可以在一定程度上减小线宽增强因子，但这种方法往往会对激光器的其他性能，如阈值电流、输出功率等产生影响。增加谐振腔长度是一种直观的线宽压窄方法，较长的谐振腔可以增加光子在腔内的往返次数，从而提高模式选择能力，压窄线宽。然而，传统的垂直腔结构限制了谐振腔长度的增加，因为过长的谐振腔会导致制作工艺难度大幅提升，同时也会增加器件的功耗和体积，降低其集成度。

为了解决这些问题，研究人员不断探索新的结构和技术。一种常用的方法是采用外腔反馈技术，通过在VCSEL外部引入一个光学谐振腔，将部分激光反馈回VCSEL腔内，形成光反馈。这种光反馈可以增强特定模式的振荡，抑制其他模式，从而实现线宽压窄。外腔反馈技术的关键在于精确控制反馈光的强度、相位和频率，以达到最佳的线宽压窄效果。然而，外腔反馈技术也存在一些缺点，例如对外界环境的干扰较为敏感，温度、振动等因素的变化都可能导致外腔的光学参数发生改变，从而影响反馈效果，使线宽稳定性变差。此外，外腔结构较为复杂，增加了系统的成本和体积，不利于大规模集成应用。

近年来，导模共振耦合腔VCSEL成为研究热点。这种新型结构利用导模共振效应，通过在VCSEL中引入特殊设计的耦合腔，实现对光场的有效调控。导模共振耦合腔可以提供额外的光反馈和模式选择机制，使得激光器能够在更窄的线宽下工作。与传统的外腔反馈技术相比，导模共振耦合腔VCSEL具有结构紧凑、对环境干扰不敏感等优点。研究人员通过数值模拟和实验验证，不断优化耦合腔的结构参数，如腔长、折射率分布、耦合系数等，以实现更窄的线宽和更高的性能。目前，导模共振耦合腔VCSEL在理论研究和实验制备方面都取得了一定的进展，但仍存在一些问题需要解决，例如如何进一步提高耦合效率、降低阈值电流、增强器件的稳定性等，这些问题的解决将有助于推动导模共振耦合腔VCSEL的实用化进程。

1.3研究目标与内容

本研究旨在设计并模拟一种基于导模共振耦合腔的超窄线宽VCSEL，