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公司混合集成电路装调工设备操作规程

文件名称：公司混合集成电路装调工设备操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司内部所有从事混合集成电路装调工作的员工。适用于混合集成电路装调过程中使用的各类设备操作。员工必须遵守本规程，确保操作安全、规范。操作人员需接受专业培训，具备相应的技能和知识。未经培训或培训不合格人员不得操作设备。

二、操作前的准备

1.防护用具使用：

a.操作人员必须穿戴符合规定的个人防护装备，如工作服、安全帽、防护眼镜、手套、耳塞等。

b.手套需选用防静电材质，以防静电损坏敏感的集成电路组件。

c.防护眼镜需佩戴整齐，以防设备运行过程中飞溅的异物伤害眼睛。

d.防尘口罩和耳塞应在有粉尘和噪声的工作环境中使用，以保护呼吸系统和听力。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否完好，无损坏、锈蚀等现象。

b.确认电源插座接触良好，电源开关处于关闭状态。

c.检查设备各连接线缆是否完好，无裸露的金属部分。

d.对设备内部进行检查，确保内部清洁无杂物，所有紧固件无松动。

e.启动设备前，确保所有操作人员已撤离设备附近，以避免误操作或紧急停止时的危险。

f.对于有温控功能的设备，检查温度设定是否正确，确保在设备正常工作范围内。

3.作业区域的准备要求：

a.清洁作业区域，确保无尘埃、油污等杂物，为操作提供清洁的工作环境。

b.确保作业区域照明充足，避免操作人员在黑暗中作业导致的失误。

c.在操作区域内设置安全警示标志，提醒操作人员注意安全。

d.检查通风设备是否正常工作，确保操作区域空气质量符合要求。

e.确保操作区域内有足够的操作空间，方便操作人员自由活动。

f.检查紧急停止按钮是否易于触及，并确保其在有效范围内。

所有准备工作完成后，操作人员方可启动设备进行混合集成电路的装调工作。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行步骤流程：

a.根据生产任务单，准备所需材料、工具和设备。

b.按照设备操作规程，开启设备，并调整至合适的工艺参数。

c.安装并固定好待装调的集成电路，确保安装牢固且位置正确。

d.启动设备，观察设备运行状态，确认设备运行正常后，开始装调工作。

e.在装调过程中，密切监控设备运行数据和工艺参数，确保符合要求。

f.装调完成后，关闭设备，取出已装调的集成电路，进行质量检查。

g.对设备进行清洁和保养，为下一次操作做好准备。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于敏感元件的装调，需采用无尘室操作，并严格控制操作人员的手套更换频率。

b.特殊温度或压力条件下的装调，需严格按照工艺规程进行，并使用专业的温度和压力控制设备。

c.对于复杂结构的集成电路，需在装调前仔细研究图纸，确保装调顺序和方法的正确性。

3.异常工况的处理方法：

a.若设备出现异常报警，立即停止操作，关闭设备，并检查报警原因。

b.对于设备故障，由专业维修人员进行处理，非专业人员不得擅自拆卸或维修设备。

c.若装调过程中发现集成电路存在问题，立即停止操作，将问题产品隔离，并通知质量部门进行处理。

d.在操作过程中，若发现操作人员身体不适或环境因素影响操作安全，应立即停止操作，撤离作业区域，寻求帮助。

e.所有异常情况均需详细记录，以便分析原因，防止类似事件再次发生。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.电流和电压：设备运行时，电流和电压应稳定在设备铭牌上标示的额定值范围内。

b.温度：设备运行时，温度应保持在设备设计的安全工作温度范围内，避免过热或过冷。

c.噪音：设备运行时，噪音水平应保持在设备规定的噪音标准以内，确保操作环境舒适。

d.速度：对于需要调整速度的设备，运行速度应与工艺要求一致，不得有显著波动。

e.振动：设备运行时，振动应均匀，不得超过设备规定的振动极限值。

2.典型故障现象：

a.异常噪音：设备运行时发出不正常的噪音，可能是轴承磨损、传动带松动或内部零件损坏。

b.电流异常：设备运行时电流突然增大或减小，可能是电路故障、负载不平衡或设备内部短路。

c.温度过高：设备运行时温度异常升高，可能是冷却系统故障、负载过重或设备内部积尘。

d.设备停止响应：设备在操作过程中突然停止响应，可能是控制系统故障或紧急停止按钮被误触。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期检查设备运行状态，包括电流、电压、温度、噪音和振动等参数。

b.使用仪器设备对设备进行实时监测，如温度计、电流表、电压表和噪音计等。

c.对于异常参数，应立即