基于BBO晶体四倍频技术的紫外激光器性能优化与应用拓展研究.docx

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2025-12-17 发布于上海
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基于BBO晶体四倍频技术的紫外激光器性能优化与应用拓展研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，激光技术作为20世纪以来人类最伟大的发明之一，在科学研究、工业生产、医疗美容、信息通信等众多领域都展现出了巨大的应用价值。紫外激光器作为激光家族中的重要成员，由于其具有波长短、光子能量高的特点，能够实现更高的分辨率和更精细的加工，在诸多领域中发挥着不可替代的作用。例如在高分辨率光刻领域，随着芯片制造工艺不断向更小尺寸迈进，对光刻精度的要求越来越高。紫外激光器能够提供更短的波长，使得光刻分辨率得以大幅提升，从而满足先进芯片制造的需求，推动集成电路技术不断向前发展。在生命科学领