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MEMS技术赋能电容式压力传感器：原理、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的迅猛发展浪潮中，传感器作为获取信息的关键部件，其性能的优劣直接影响到众多系统的运行效果。压力传感器作为传感器家族中的重要成员，广泛应用于工业控制、医疗、汽车、航空航天等诸多领域，发挥着不可或缺的作用。随着各领域对传感器性能要求的不断提高，传统压力传感器在灵敏度、体积、精度和功耗等方面的局限性逐渐凸显，难以满足日益增长的市场需求。

微电子机械系统（MEMS）技术的出现，为压力传感器的发展带来了新的契机。MEMS技术融合了微电子技术与微机械加工技术，能够实现传感器的微型化、集成化和智能化。基于