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付振峰,王振忠,黄雪鹏,等.气囊抛光蓝宝石弧面研究分析[J].航空制造技术,2024,67(15):94–101,119.

FUZhenfeng,WANGZhenzhong,HUANGXuepeng,etal.Studyandanalysisofbonnetpolishedcamberedsurfaceof

sapphire[J].AeronauticalManufacturingTechnology,2024,67(15):94–101,119.

气囊抛光蓝宝石弧面研究分析

付振峰，王振忠，黄雪鹏，申冰怡，刘祖辉

（厦门大学，厦门361005）

[摘要]随着国防军工和LED产业发展，对蓝宝石衬底的需求和形状复杂度的要求逐步提升。蓝宝石传统抛光方

式如化学机械抛光存在效率低、曲面加工效果不佳等问题，而气囊抛光作为快速抛光方式之一，适用于各种曲面的抛

光，故将气囊抛光技术应用于蓝宝石弧面抛光。首先基于机器人平台建立抛光运动模型，随后通过单因素试验和正

交试验得到较优工艺参数，最后在较优工艺参数下进行整弧面抛光并探究抛光时间对蓝宝石表面质量的影响。结果

表明，抛光时间为8min时，工件弧面表面粗糙度Ra从541.5nm下降至41.2nm并成功保形，验证了气囊抛光蓝宝

石弧面的工艺可行性。

关键词：蓝宝石；气囊抛光；弧面；快速抛光；正交试验

StudyandAnalysisofBonnetPolishedCamberedSurfaceofSapphire

FUZhenfeng,WANGZhenzhong,HUANGXuepeng,SHENBingyi,LIUZuhui

(XiamenUniversity,Xiamen361005,China)

[ABSTRACT]WiththedevelopmentofnationaldefensemilitaryandLEDindustry,thedemandforsapphiresubstrates

andthecomplexityoftheirshapesisincreasing.Traditionalpolishingmethodssuchaschemicalmechanicalpolishinghas

the deficiencies of low efficiency and poor cambered-surface processing effect, while bonnet polishing, as one of the rapid 

polishingmethods,isapplicabletoavarietyofcamberedsurfacepolishing.Therefore,thebonnetpolishingtechnology

wasappliedtosapphirecambered-surfacepolishing.Firstly,thepolishingmotionmodelofsapphirewasestablishedona

roboticplatformandtheoptimumprocessingparameterswereobtainedthroughsingle-factortestandorthogonaltest.Then

the polishing for the whole cambered surface was carried out under the optimum parameters and the effect of polishing time 

onthesurfacequalitywasinvestigated.TheresultsshowthatthesurfaceroughnessRaofthecamberedsurfa