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宇航计测技术2024年

2024年10月宇航计测技术Oct.2024

第44卷第5期JournalofAstronauticMetrologyandMeasurementVol.44No.5

文章编号:1000-7202(2024)05-0016-09DOI:10.12060/j.issn.1000-7202.2024.05.03

基于量子精密测量的中红外气体检测技术综述

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朱天一,冯典英,许峰,董雅卓,张文申,侯倩倩,刘霞,王威

(中国兵器工业集团第五三研究所,济南250031)

摘要:综述了基于量子精密测量的中红外气体检测技术发展情况。随着半导体行业的发展,对电子工艺气体

纯度的要求不断提升,传统中红外气体检测技术在痕量气体检测上面临灵敏度和精度的挑战。分析比较了光纤消

逝波、光声光谱、傅里叶变换红外光谱、可调谐二极管激光吸收光谱和光腔衰荡光谱等技术的特点、应用现状及其局

限性,并重点介绍了基于量子关联光谱的中红外气体检测技术,通过利用光量子探测器和频率上转换技术,突破了

传统中红外探测器的性能瓶颈,显著提高了检测灵敏度和信噪比,该技术将成为未来的重点研究方向和技术突破

口,为实现更高精度的痕量气体检测提供了重要参考。

关键词:高纯气体;超痕量分析;中红外;量子测量

中图分类号:T19文献标志码:A

AReviewofMid-infraredGasDetectionTechnologyBasedon

QuantumPrecisionMeasurement

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ZHUTianyi,FENGDianying,XUFeng,DONGYazhuo,ZHANGWenshen,

HOUQianqian,LIUXia,WANGWei

(ChinaNorthIndustriesGroup53rdResearchInstitute,Jinan250031,China)

Abstract:Thisarticlereviewsmid-infraredgasdetectiontechnologybasedonquantumprecisionmeasurements.With

thedevelopmentofthesemiconductorindustry,therequirementsforthepurityofelectronicprocessgasescontinueto

increase.Traditionalmid-infraredgasdetectiontechnologyfacessensitivityandaccuracychallengesintracegasdetection.

Thisarticleanalyzesindetailthecharacteristics,applicationstatusandlimitationsoftechnologiessuchasfiberevanescent

waves,photoacousticspectroscopy,Fouriertransf