传感器与检测技术第2章(4)压电式位移传感器.pptVIP

第二章位移检测传感器第一节参量型位移传感器第二节发电型位移传感器——压电位移传感器第三节大位移传感器1

第二节压电式位移传感器发电型位移传感器是将被测物理量转换为电源性参量，如电动势、电荷等等。是一种能量转换型传感器。这类传感器有磁电型、压电型等。本节介绍压电式位移传感器。2

第二节压电式位移传感器压电式位移传感器的基本工作原理是将位移量转换为力的变化，然后利用压电效应将力的变化转换为电信号。3

第二节压电式位移传感器压电效应某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。4

第二节压电式位移传感器压电效应正（顺）压电效应示意图5

第二节压电式位移传感器压电效应常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。8

第二节压电式位移传感器压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)；多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。9

第二节压电式位移传感器10