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Thermo Fisher赛默飞色谱及质谱检测解决方案iCAP TQs ICS 6000应用文集.pdf

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    赛默飞色谱及质谱客户解决方案系列

    半导体材料检测应用文集

    目录

    I.前言1

    II.赛默飞半导体行业材料检测产品2

    III.应用文集5

    第一部分表面清洗化学品（CleanChemical）5

    一.按照SEMIF63超纯水技术规范测定痕量无机阴阳离子5

    1.1离子色谱测定超纯水中痕量阴离子和铵根5

    二.按照SEMIC021氨水技术规范测定金属杂质和阴离子杂质8

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