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T_NXCL 017-2022 300 mm 重掺磷直拉硅单晶抛光片.docx

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    ICS29.045CCSH82

    NXCL

    宁夏材料研究学会团体标准

    T/NXCL017—2022

    300mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

    300mmheavilyphosphorus-dopedsinglecrystalineCzochralskisiliconpolished

    wafers

    2022-12-2发布2022-12-2实施

    宁夏材料研究学会发布

    I

    T/NXCL017—2022

    前言

    本文件按照GB/T1.1—2020《

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