Silex矽电 探针测试设备 PT-9200 产品说明书.pdf

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矽电PT-9200产品介绍

为全球客户提供专业、高端的半导体设备

专注探针测试领域20年+

产品概述:

PT-9200适用于最大8英寸的集成电路晶圆自

动测试。整机特别针对集成电路多芯多探针及

高定位精度的测试需求进行设计,可以满足

2000根探针以下的单芯或多芯测试,整机搭

载光栅尺闭环系统,综合定位精度±2um,具

备高精度、高刚性,高稳定性的特点。

产品特性:

高分辨率光学识别、自动对针系统,全自动对针。

支持分类测试功能。

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