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Silex矽电 探针测试设备 PT-9200 产品说明书.pdf

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    矽电PT-9200产品介绍

    为全球客户提供专业、高端的半导体设备

    专注探针测试领域20年+

    产品概述：

    PT-9200适用于最大8英寸的集成电路晶圆自

    动测试。整机特别针对集成电路多芯多探针及

    高定位精度的测试需求进行设计，可以满足

    2000根探针以下的单芯或多芯测试，整机搭

    载光栅尺闭环系统，综合定位精度±2um，具

    备高精度、高刚性，高稳定性的特点。

    产品特性：

    高分辨率光学识别、自动对针系统，全自动对针。

    支持分类测试功能。

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