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关于《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》标准立项的发展报告

摘要

本报告旨在阐述《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》标准立项的必要性与战略价值。随着Mini/MicroLED等超高清显示技术的迅猛发展，作为核心基础材料的蓝宝石图形化衬底（PSS）其质量与标准化需求日益凸显。当前，PSS产业因缺乏统一的表面图形几何参数测量标准，导致供应链沟通成本高、产品质量评价不一，制约了产业协同与技术进步。本标准的制定，旨在建立一套科学、统一、可重复的PSS表面微纳图形（如尺寸、高度、间距、角度等）测量与评价体系。通过规范测量方法、设备、流程及报告格式，本标准将有效提升产业链上下游的协同效率，保障产品质量一致性，降低交易风险，并为我国在第三代半导体关键材料领域的自主创新与产业升级提供坚实的技术支撑。

要点列表

1.产业驱动：Mini/MicroLED技术引领的超高清显示时代，对高品质PSS的需求激增，标准化是产业规模化发展的必然要求。

2.政策支持：PSS作为战略性先进电子材料和第三代半导体关键衬底，其标准化工作符合国家“十三五”、“十四五”等一系列科技与产业规划的战略导向。

3.技术核心：PSS表面的微纳图形结构直接决定GaN外延层质量和LED芯片的光电性能（如内量子效率、光提取效率），其参数的精确测量至关重要。

4.标准缺失：市场上PSS图形种类繁多，测量方法、点位选取、计算方式不统一，导致行业缺乏公认的质量评判基准。

5.方法明确：本标准规定使用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）和自动光学检测设备，对50.8mm、100mm、150mm等主流尺寸PSS进行标准化测量。

6.体系完善：标准详细规范了测量点分布、有效区域计算、特征参数公式，并引入GageRR与KAPPA量测系统分析体系，确保测量结果的可靠性与可重复性。

7.意义重大：标准化将降低供应链沟通成本，提升产品良率，推动PSS产业优化升级，健全行业生态。

目的意义

本标准的立项与制定具有深远的技术、产业和经济意义。

从技术层面看，PSS并非简单的平整衬底，其表面周期性排列的微纳图形是发挥其增强光提取、降低外延缺陷等功能的核心。图形几何参数的微小偏差会显著影响最终LED器件的性能与可靠性。目前，由于缺乏统一标准，供应商与客户之间对“合格”图形的界定常存在分歧，不利于技术问题的精准溯源与工艺优化。本标准通过提供国际认可的、严谨的测量方法（参考已通过的SEMI国际标准），为行业建立了共同的技术语言和度量衡，将极大促进PSS设计与制造技术的精细化、可预测化发展。

从产业层面看，标准化是产业成熟和供应链高效协同的基石。统一的测量标准能确保PSS供应商向客户提供明确、可比对的产品规格数据，减少因测量方法不一致导致的商务纠纷与经济损失。同时，它为来料检验、过程质量控制提供了权威依据，有助于提升整体产品良率和生产稳定性，推动我国PSS产业从“制造”向“质造”和“智造”升级，增强在全球半导体材料产业链中的核心竞争力。

从政策与战略层面看，PSS是支撑氮化镓（GaN）等第三代半导体产业发展的关键材料之一，属于国家战略规划中重点支持的前沿领域。制定此类关键材料的检测标准，是完善我国半导体材料标准体系、保障产业链自主安全可控的重要举措。它有助于规范市场秩序，引导资源向高质量产品集中，从而支撑“超高清”显示、新一代信息通信等战略性新兴产业的健康发展。

关于标准化技术委员会的介绍

标准化技术委员会是在特定专业领域内，负责组织、制定、修订、宣贯和维护技术标准的技术机构。它通常由该领域的行业主管部门牵头，汇聚来自领先企业、科研院所、检测机构、高校及用户的专家代表共同组成。委员会的工作遵循公开、公平、协商一致的原则。

在本标准《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》的制定过程中，相应的标准化技术委员会（例如：全国半导体设备和材料标准化技术委员会或相关的材料分技术委员会）将发挥核心组织与领导作用。其具体职能包括：

1.立项评估与组织：委员会对标准提案的必要性、可行性和适用范围进行专业评审，决定是否立项。

2.组建起草工作组：从委员会成员及相关单位中遴选技术专家，组成标准起草工作组，负责标准文本的具体编写、实验验证和技术论证。

3.征求意见与协调：将标准草案广泛分发至产业界、学术界征求意见，并组织召开会议，协调处理各方的不同技术观点和建议，寻求最大共识。

4.审查与报批：组织专家对修改后的送审稿进行严格的技术审查，最终形成报批稿，提交至国家标准化管理主管部门批准发布。

5.宣贯与维护：标准发布后，委员会负责组织标准的解读、培训与推广工作，并根据技术发展和产业需求，定期评估并组织标准的修订工作。

因此，标准化技术委员会是本标准得