辉光放电质谱仪测定单晶硅中微量元素的不确定度分析.pdfVIP

第51卷第10期无机化工化工设计通讯

2025年10月InorganicChemicalIndustryChemicalEngineeringDesignCommunications

辉光放电质谱仪测定单晶硅中微量元素的不确定度分析

陈旭，戚钱菊，魏宁

（内蒙古中环晶体材料有限公司，内蒙古呼和浩特010000）

摘要：通过优化GDMS仪器的分析参数（放电电流、放电电压、预溅射时间），测试了单晶硅样品中

的关键掺杂元素（B、P、Ga），并将结果与SIMS比较。结果表明GDMS测试晶体硅太阳能电池材料中B、

P、Ga的准确度较好。分析不确定度的来源，根据不确定度分量的结果发现，仪器本身的不确定度显著高于

k

其他不确定度分量。在95%的置信区间内，包含因子=2，分析的扩展不确定度为9.5066%。结果表明运用

GDMS法测试单晶硅中的微量元素能满足分析要求。

关键词：单晶硅；辉光放电质谱法；不确定度；半定量分析

中图分类号：TH843文献标志码：A文章编号：1003-6490（2025）10-0004-03

UncertaintyAnalysisofTraceElementsinMonocrystallineSiliconDeterminedby

GlowDischargeMassSpectrometry

CHENXu,QIQianju,WEINing

Abstract:Inthispaper,weanalyzedthekeyelementsofdoping(B,P,Ga)inmonocrystallinesiliconsamples

byoptimizingtheanalyticalparameters(dischargecurrent,dischargevoltage,pre-sputteringtime)oftheGDMS

instrumentandcomparedtheresultswithSIMS.TheresultsshowthattheaccuracyofGDMSfortestingB,P,and

Gaincrystallinesiliconsolarcellmaterialsiswellestablished.Analyzingthesourcesofuncertainty,basedon

theresultsoftheuncertaintycomponents,itwasfoundthattheuncertaintyoftheinstrumentitselfwassignificantly

higherthantheotheruncertaintycomponents.Theextendeduncertaintyoftheanalysiswas9.5066%withinclusion

factork=2within95%confidenceinterval.TheresultsindicatethattheapplicationofGDMSmethodtotesttrace

elementsinmonocrystallinesiliconcanmeettheanalyticalrequirements.

Keywords:monocrystallinesilicon;glowdischargemassspectrometry;uncertainty;semiquantitativeanalysis

晶体硅太阳能电池因其尺寸和性能等特点，在当氩气作为放电气体，从而产生较高的轰击粒子，氩

今市场占据主导地位[1]。晶体N型