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2025-12-29 发布于上海
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MEMS传感器闭环检测电路研究设计

一、研究背景与设计目标

随着物联网、智能穿戴、自动驾驶等领域的快速发展，MEMS（微机电系统）传感器凭借体积小、功耗低、成本低等优势，成为感知层的核心器件。然而，传统开环检测电路存在线性度差、温漂明显、抗干扰能力弱等问题，难以满足高精度场景需求。闭环检测电路通过“检测-反馈-校正”的动态调节机制，可显著提升MEMS传感器的测量精度、稳定性与响应速度，因此成为当前MEMS技术领域的研究热点。

本研究设计的核心目标的是：针对MEMS电容式加速度传感器，开发一套基于电荷反馈与静电伺服的闭环检测电路，实现±50g测量范围下，非线性误差≤