制造工艺仿真：光刻仿真_（3）.光刻工艺流程仿真v1.docx

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光刻工艺流程仿真

光刻工艺流程概述

光刻工艺是半导体制造中最关键的步骤之一，它用于将设计好的电路图案精确地转移到晶圆上。光刻工艺的流程包括以下几个主要步骤：

基底准备：对晶圆进行清洁、预处理和涂覆光刻胶。

曝光：使用光源和掩模将电路图案曝光在光刻胶上。

显影：通过化学反应去除未曝光或曝光部分的光刻胶，形成所需的图案。

刻蚀：利用光刻胶图案作为掩膜，对基底材料进行刻蚀，形成最终的电路结构。

去胶：去除剩余的光刻胶，完成光刻工艺。

在光刻工艺流程仿真中，我们需要对每个步骤进行详细的模拟，以预测和优化工艺参数，确保最终产品的性能和可靠性。

基底准备仿真

清洁过