制造工艺仿真：掺杂仿真_（10）.掺杂仿真数据处理.docx

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掺杂仿真数据处理

在制造工艺仿真中，掺杂仿真是一个关键环节，用于模拟半导体材料中的掺杂过程，以预测和优化器件性能。本节将详细介绍掺杂仿真数据处理的原理和方法，包括数据的采集、预处理、分析和后处理。通过本节的学习，您将能够掌握如何有效地处理掺杂仿真数据，以确保仿真结果的准确性和可靠性。

数据采集

数据采集是掺杂仿真数据处理的第一步，涉及从实验和仿真软件中获取必要的数据。这些数据包括掺杂浓度、掺杂分布、温度分布、电流密度等。

实验数据采集

实验数据通常通过以下几种方法获取：

二次离子质谱（SIMS）：用于测量半导体材料中的掺杂浓度分布。

电容-电压（C-V）