2-第一章-真空技术基础.pptVIP

第一章真空技术基础;1.1真空的基本知识;两类真空

自然真空和人为真空相对真空和绝对真空;真空单位

帕斯卡（Pascal）：Pa

托（Torr）：1Torr=133.322Pa

1Pa=7.5×10-3Torr

旧的单位：mmHgTorrbaratm;单位;粗真空1×105to1×102Pa

低真空1×102to1×10-1Pa

高真空1×10-1to1×10-6Pa

超高真空1×10-6Pa;1.1真空的基本知识;1.2稀薄气体的基本性质;1.2稀薄气体的基本性质;1.2稀薄气体的基本性质;气体分子密度;20℃空气中，固体表面形成单原子层所需时间，取氮气：;标准状态下撞击表面的气体原子在表面形成单原子层所需要的时间：;1.2稀薄气体的基本性质;1.2稀薄气体的基本性质;1.2稀薄气体的基本性质;真空度对薄膜质量的影响;想要得到高纯度的薄膜，就必须尽量在较高真空度的环境下，或是在不会与薄膜材料产生反应的氩气等的惰性气体中进行。

相反的，也有故意让原料气体和其它气体发生反应而产生新的性质优良的材料的情形，这种称为反应性溅镀或是反应性蒸镀。;1.3真空的获得－抽真空;1.3真空的获得;1.3真空的获得－抽真空;1.3真空的获得－抽真空;1.3真空的获得－抽真空;1.3真空的获得－抽真空;?机械泵RotaryVanePumps;旋片式机械泵结构示意图和工作原理图;Gasenterstheinletportandistrappedbetweentherotorvanesandthepumpbody.

Theeccentricallymountedrotorcompressesthegasandsweepsittowardthedischargeport.

Whengaspressureexceedsatmosphericpressure,theexhaustvalveopensandgasisexpelled.

Atmosphereto10-3torr

Robust,inexpensive

Oillubricated;玻－马洛特定律;影响真空度的因素：;?扩散泵

DiffusionPumps;Momentumtransfertogasmoleculesthroughcollisionwithdirectedjetofoilmolecules

Requirecoolingwater,backingpump

10-3to10-7Torr(to10-9TorrwithLN2cooling);扩散泵极限压强;泵油要求：

化学稳定性好（无毒、无腐蚀）

热稳定性好（高温不分解）

抗氧化

较低的饱和蒸气压（小于等于10-4Pa）

工作时应有尽可能高的蒸气压;1.3真空的获得－抽真空;1.3真空的获得－抽真空;Moleculesmechanicallypumpedbycollisionwithangledhighspeedturbineblades(rotor).

Severalrotorarrangedinaseriesspinningat30,000-60,000rpm.

Rotortangentialvelocityisontheorderoftheaveragethermalvelocityofmolecules.

Atmosphereto10-10Torr

Oil/grease/electromagneticbearings

MostcommonHV/UHVpump.;Advantages

Correctlyoperatedtheydonotback-streamoilintothevacuumsystematanytime.

Theycanbestartedandstoppedinafewminutestime.

Disadvantage

Tur