无锡百级洁净室施工方案.doc

无锡百级洁净室施工技术方案

一、行业标准与设计依据

本洁净室施工严格遵循GB50591-2025《洁净室施工及验收规范》强制性标准，针对无锡地区电子半导体行业生产需求，设定洁净度等级为ISO5级（100级），每立方米空气中≥0.5μm粒子数≤3520个。温度控制采用分区精度管理：核心生产区维持22±0.5℃，辅助区24±1℃，相对湿度统一控制在45%-55%，波动幅度不超过±5%。压差梯度设计遵循三区五级原则，洁净区对非洁净区保持10Pa正压，ISO5级区域相对ISO7级缓冲区维持15Pa压差，所有区域静压差监测点设置密度不低于1个/50㎡。噪声控制执行空态≤60dB（A），动态≤65dB（A