1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 学术论文
  5. 自然科学论文

Advanced EnergyAdvanced Energy Industries等离子体源XSTREAM 8kW 10kW VFP用户手册.pdf

Advanced EnergyAdvanced Energy Industries等离子体源XSTREAM 8kW 10kW VFP用户手册.pdf

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    采用主动匹配网络的XSTREAM远程等离子体源

    用于大流量高压反应性气体工艺的全集成等离子体源平台

    ®

    高效Xstream平台安装在处理腔外部，使用稳定进气产生

    中性的反应性粒子，用于表面改性、腔室清洗、薄膜刻蚀

    和等离子体辅助沉积。

    Xstream平台集成了远程等离子体源、8kW或10kW高效电

    源、专利的固态主动匹配网络™，可用于最宽的腔室清洗

    源商用阻抗工作范围。Xstream平台为工艺工程师提供了

    最高的反应性气体工艺灵活性，从而提高系统通量和优化

    使用昂贵的等离子体源。

    优点

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    R的文档库 + 关注
    实名认证
    内容提供者

    相近型号说明书可通用，具体看说明书包括型号

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：7060103150000024

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >