抗应变柔性温度传感器的设计与制造.pdfVIP

电子元件与材料第44卷第2期2月2025年

ElectronicComponentsandMaterialsVol.44No.2Feb2025

抗应变柔性温度传感器的设计与制造

姜涛,赵娜12

(1.长春大学电子信息工程学院,吉林长春130000;

2.吉林省政府投资基金管理有限公司,吉林长春130000)

摘要:针对金属电极柔性温度传感器抗应变能力不足的问题,提出了一种“蛇形”结构设计的抗应变柔性温度传

感器,并进行了相应的制造与测试工作。通过温度响应与应变响应的理论分析,详细探讨了柔性温度传感器的温度

测量原理以及在应变作用下测试信号的变化规律。随后采用光刻工艺与磁控溅射技术,在聚酰亚胺基底上图形化了

金属镍电极,并利用扫描电子显微镜及能谱分析对电极表面微观形貌和元素含量进行了观察与分析。最终,针对所

制备的抗应变柔性温度传感器,开展了电阻温度系数测试和抗应变干扰实验。实验结果表明,所设计的柔性温度传

感器的电阻温度系数为0.0099/℃,并且在不同应变条件下,传感器均表现出了优异的抗应变能力,同时温度测量

结果准确可靠。

关键词:柔性温度传感器;抗应变;金属电极;电阻温度系数

中图分类号:TP212.1文献标识码:A

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DOI:10.14106/ki.10012028.2025.1388

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引用格式:姜涛,赵娜.抗应变柔性温度传感器的设计与制造[J].电子元件与材料,2025,44(2):152156.

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Referenceformat:JIANGTao,ZHAONa.Designandfabricationofstrainresistantflexibletemperaturesensors[J].

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ElectronicComponentsandMaterials,2025,44(2):152156.

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Designandfabricationofstrainresistantflexibletemperaturesensors

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JIANGTao,ZHAONa

(1.SchoolofElectronicInformationEngineering,ChangchunUniversity,Changchun130000,China;2.Jilin

ProvincialGovernmentInvestmentFundManagementCo.,Changchun130000,China)

Abstract:Toaddresst