怀集县无尘车间施工方案.docVIP

怀集县电子洁净车间施工组织方案

一、工程概况

本项目位于肇庆市怀集县工业园区内，总建筑面积2800㎡，为三层框架结构工业建筑。其中万级洁净区面积1200㎡（含局部百级区域80㎡），主要用于半导体元器件封装测试生产线。洁净车间设计参数如下：

区域等级

温度控制

湿度控制

换气次数

静压差

照度要求

万级区

23±2℃

55±5%RH

30次/h

≥5Pa

300Lux

百级区

22±1℃

50±3%RH

500次/h

≥10Pa

500Lux

结构改造部分包含3处设备吊装口（尺寸2.5m×3m）、12处传递窗洞口及防微振地面处理。净化系统采用组合式空调箱+FFU送风模式，配套废水处理站（处理能力5m3/h）及废气焚烧装置。

二、施工部署

（一）施工分区划分

A区（核心净化区）：包含百级操作间、光刻区等关键区域，采用全封闭式施工管理

B区（辅助功能区）：含更衣缓冲区、气闸室等，与A区同步施工

C区（公用动力区）：空调机房、纯水站等，提前30天完成施工

（二）施工流程规划

结构改造阶段（45天）→2.暖通管道安装（30天）→3.电气系统施工（25天）→4.洁净装修阶段（40天）→5.设备安装调试（20天）→6.性能测试（15天）

（三）资源配置计划

管理人员：项目经理1人、技术负责人2人、专职安全员1人、质量监督员2人

施工班组：钢结构班组（8人）、管道班组（12人）、电工班组（10人）、洁净安装班组（15人）

主要设备：激光水平仪（精度0.02mm/m）、无尘打磨机（Class10级）、风量测试仪（量程0-50m3/min）

三、主要施工工艺

（一）结构改造工程

防微振地面施工

基层处理：采用金刚石研磨机（配备HEPA过滤器）打磨混凝土表面，平整度误差控制在2mm/2m内

配筋设计：Φ12mm螺纹钢@150mm双向布置，设置6道伸缩缝（采用不锈钢盖板）

浇筑工艺：C30细石混凝土掺聚丙烯纤维（掺量0.9kg/m3），使用真空吸水机（真空度≥0.08MPa）处理，养护期不少于28天

墙体改造施工

轻质隔墙：采用120mm厚彩钢板（双面0.426mm镀锌钢板+75mm岩棉芯材），竖龙骨间距400mm

密封处理：所有缝隙填充防火密封胶（膨胀倍率≥250%），转角处加设圆弧铝型材（半径R50mm）

（二）净化空调系统

风管制作安装

材料要求：镀锌钢板（厚度≥0.8mm），采用咬口连接（咬口深度12mm）

清洁工艺：风管内壁进行磷化处理（膜重≥7g/m2），安装前用异丙醇擦拭，两端用PE膜密封

漏风检测：按GB50243标准进行漏光法检测（每10m接缝漏光点≤1处），漏风量测试≤2%设计风量

FFU安装工艺

龙骨系统：铝合金型材（截面尺寸50×80mm），水平度误差≤1mm/m

密封措施：FFU与静压箱之间加设氯丁橡胶垫（硬度60±5ShoreA），螺栓连接扭矩控制在18N·m

风速调试：单台FFU风速偏差≤±5%，区域均匀度≤8%

（三）洁净装饰工程

吊顶施工

龙骨系统：C型钢主龙骨（间距1200mm），铝合金次龙骨（间距600mm），承载力≥150kg/m2

板材安装：3mm厚铝合金蜂窝板（表面电阻10?-10?Ω），采用沉头螺栓固定（间距300mm）

灯具安装：嵌入式洁净灯（防护等级IP65），与吊顶间隙填充硅胶（邵氏硬度45±5）

地面处理

基层处理：喷砂除锈（Sa2.5级）后涂刷环氧底漆（干膜厚度80μm）

自流平施工：无溶剂环氧自流平（厚度2mm），采用锯齿镘刀（齿深3mm）刮涂，表面电阻10?-10?Ω

接缝处理：设置2mm宽玻璃纤维分隔条，填缝采用聚硫密封胶（延伸率≥300%）

四、质量控制措施

（一）关键工序控制点

风管制作：建立三检制（自检、互检、专检），每批风管抽样10%进行漏风量测试

洁净度控制：设置3级除尘系统（初效→中效→高效），施工人员配备防静电无尘服（Class10级）

气密性测试：采用氦质谱检漏仪（最小可检漏率5×10?12Pa·m3/s）检测围护结构

（二）检测仪器配置

仪器名称

型号规格

精度等级

校准周期

粒子计数器

MetOne3445

0.1μm

6个月

温湿度计

Testo635

±0.1℃/±2%RH

12个月

压差计

Dwyer475

±0.2Pa

6个月

五、安全文明施工

（一）安全防护措施

高空作业：设置双护栏（高度1.2m），使用防坠器（承载能力≥15kN），作业平台满铺防滑脚手板

临时用电：采用TN-S系统，配电箱配备浪涌保护器（Imax≥40kA），接地电阻≤4Ω

动火管理：办理动火许可证，配备2台推车式干粉灭火器（4kg），设置防火隔离带（宽度5m）

（二）洁净施工管理

人员管控：施工人员需通过风淋室（风速≥25m/s）进入洁净区，每日进行静电测试（≤100V