原创力文档洁净室系统介绍
洁净室系统介绍
目录
一．洁净室的定义及级别划分
二．洁净室的分类
三．洁净室的构造
四．洁净室的主要控制参数
五．洁净室主要设备介绍
六．洁净室的能耗和节能
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洁净室的定义及级别划分
1.洁净室定义
洁净室是指，将一定空间范围内之空气中的微
粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并
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