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半导体器件仿真：光电二极管仿真_26.光电二极管的工艺仿真.docx

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    26.光电二极管的工艺仿真

    26.1光电二极管的基本结构和工作原理

    光电二极管是一种将光能转换为电信号的半导体器件。它通常由一个pn结组成，当光照射到pn结时，pn结产生的电子-空穴对被电场分离，形成光电流。光电二极管的基本结构包括衬底、n区、p区、金属电极和抗反射膜等部分。在工艺仿真中，我们需要考虑这些结构的物理和化学特性，以及它们在不同工艺步骤中的变化。

    26.1.1pn结的形成

    pn结是光电二极管的核心部分，通过扩散或外延生长等方式形成。pn结的形成过程需要精确控制掺杂浓度、扩散深度和温度等参数。在工艺仿真软件中，可以使用扩散模型来模拟这一过

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