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摘要
随着能源危机与环境问题日益突出，新型功能材料的研发成为材料科学领域的重要
方向。铜硒（Cu-Se）化合物因其独特性质在太阳能电池、红外探测、光催化、非线性光
学器件和热电器件等领域展现出广阔的应用前景。然而Cu-Se化合物具有多种化学计量
比和复杂的晶体结构，其相组成和性能对制备工艺参数依赖性较强。本论文以Cu-Se薄
膜（CuSe薄膜、CuSe薄膜、CuSe薄膜）为研究对象，采用射频磁控溅射与硒化相结
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