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振动能量收集技术分析文献综述

随着电子技术的快速发展，万物互联社会触角——传感器的功耗得到了较好的控制，采集环境能量如振动能、太阳能、风能为传感器供电使其无源自驱动工作成为不少科研人员的重点研究领域[35,36]，地铁车辆由于轮轨作用力产生的冲击而具有丰富的振动能量，本文主要对振动能量收集技术进行研究。振动能量收集是一个机电耦合的过程，基本原理是外界振动环境激励使得能量收集装置发生变形或位移，引起结构电学量的变化，从而向外输出电荷。根据不同的振动能量俘获机理，常见的振动能量收集方式主要有三类，分别为压电式、静电式和电磁式[37]。

1.1静电式

静电式振动能量收集器基于静电感应原理，其主要的结构是可变电容。当静电式振动能量收集器受到外界环境振动激励时，电容两极板间的距离或者相对面积会发生变化，引起电容的改变，从而使得电荷发生转移，实现机械能到电能的转换。平板电容器的电容量C为：

(1-1)

式中，为极板间的介电常数，为极板相互重叠的面积，为极板间的垂直距离。当外界因素改变电容量C时，电容存储的电能也会发生改变：

(1-2)

式中，为电容两端的电压，为最大电容，为最小电容。若不考虑绝缘以及自放电等损耗，静电式振动能量收集器输出功率为：

(1-3)

式中，为环境振动频率。

尹春风[38]等人设计了一种以聚二甲硅氧烷为弹性材料的微型静电式振动能量采集器，在100Hz，1g的冲击环境下，功率达到39.4μW。静电式振动能量收集器具有较宽的工作频带、体积小、技术成熟等优点，可以很好的集成到对部件尺寸有严格限制的微机电系统中，但是该方式的能量收集器需要外接独立电源，无法完全实现自驱动，且输出阻抗较高，这些缺陷限制了它的使用范围。

1.2电磁式

电磁式振动能量收集器主要原理是法拉第电磁感应定律，主要由闭合导电线圈和永磁体构成。在外界振动环境激励下，闭合导电线圈与永磁体形成相对运动，引起闭合导电线圈所通过磁通量的变化，从而产生感应电动势：

(1-4)

式中，为闭合导电线圈的匝数，为通过线圈的磁通量，为时间。闭合导电线圈的开路电压：

(1-5)

式中，为磁感应强度，为单匝线圈的长度，为切割磁感线的相对位移。

Lee[39]等人提出了一种结构如图1-1所示的摆式电磁能量采集器，通过两根并联的连杆实现线圈和磁铁的反向运动，试验结果表明这种结构可以有效地缩短感应时间并提高了能量采集器的输出功率。电磁式振动能量收集器无需外接独立电源，较大的输出电流，但是存在漏磁和能量转换效率低等问题[40]，闭合导电线圈和永磁体需要占据的空间比较大电磁式能量收集器的体积往往比较大，很难与MEMS装置集成。

图1-1摆式电磁能量采集器

Fig.1-1Pendulumelectromagneticenergyharvester

1.3压电式

压电式振动能量收集器主要是利用压电材料（压电陶瓷和压电薄膜）的压电效应，外界环境的振动激励使得压电材料产生形变，材料内部发生极化并且在外表面产生极化电荷的现象，撤去外力后，压电材料会重新恢复不带电的状态。一般用压电材料的变形方向与极化方向来划分压电材料的不同耦合工作模式，d31和d33是压电材料常用的两种耦合工作模式，如图1-2。d31工作模式是指变形方向与极化方向垂直，变形沿着1方向，而极化沿着3方向；d33工作模式是指变形方向与极化方向平行，均沿着3方向。

(a)d31模式(b)d33模式

图1-2压电材料不同工作模式

Fig.1-2Differentworkingmodesofpiezoelectricmaterials

表示压电材料的力学参数和电学参数关系的压电方程为机电耦合方程，如下所示[41]：

(1-6)

(1-7)

式中，σ1为沿1轴方向上的应力；ε1为沿1轴方向上的应变；Ep为压电材料的弹性模量；E3为压电材料的内建电场强度；D3为在外界激励和内建电场强度共同作用下产生的电位移矢量，用电荷密度表征；ε31σ为介电常数；d

压电式振动能量收集器的具有结构简单、感应电压高和高能量密度等优点，容易实现装置的小型化设计，是一种较为理想的收集方式。d31工作模式是压电悬臂梁常用的工作模式，可由较小的形变产生较大的内部应力，从而降低结构的谐振频率，使压电结构与环境振动主导频率更好地匹配。d33工作模式的压电材料可产生相比于d31工作模式更高的电压，且具有较高的能量密度，但是所采用的结构一般都比较复杂，例如Jeon等人设计了d33工作模式的插指型结构压电悬臂梁[42]。

假设对d31工作模式的压电元件施加一个频率为、大小为F的简谐力，压电元件的上下表面（1轴方向）会产生极化，可用电容的数学模型求解压电元件的功