精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 采用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法.pdfVIP

中华人民共和国国家标准

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《精细陶瓷采用平行光束射线衍射法测

X

定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法》

编制说明

（征求意见稿）

“X

精细陶瓷采用平行光束射线衍射法测定单晶薄膜

（晶圆）结晶质量的方法”

国家标准制定工作组

精细陶瓷采用平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜

（晶圆）结晶质量的方法

一、工作简况

（一）任务来源

根据国家标准委《国家标准化管理委员会关于下达2024年第八

批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》（国标委发

[2024]50号）的要求，由深圳职业技术大学负责《精细陶瓷（先进陶

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瓷、先进技术陶瓷）采用平行射线束射线衍射法测定单晶薄膜

（晶圆）结晶质量的方法》（项目计划编号T-609）的制

定工作，并由全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC/TC194)归口。

（二）制定背景

单晶体在许多应用中十分重要，如制作珠宝的合成宝石，固态激

光器的激光晶体等。在某些应用中，陶瓷材料被制备成单晶体。单晶

体作为薄膜生长的基体时，其晶体完整性很重要，如蓝宝石上生长镓

薄膜或单晶体上生长超导薄膜。在能源领域应用中，宽禁带半导体的

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优异特性（具有高临界电场下至少倍高的击穿电压或比硅小

倍的导通电阻）使其成为未来高功率、高频半导体器件的优势替代材

SiCGaN

料，如碳化硅（）和氮化镓（）。在光学应用中，单晶体材

YAG

料可将能量的散射或吸收降到最低，如红宝石和钇铝石榴石（）

作为激光晶体；石英和蓝宝石作为光学窗口。单畴单晶的压电材料可

以获得最优性能，如石英。此外，陶瓷单晶的光学性能、电学性能、

磁性性能或机械性能还应用于其他多个领域。

自1990年晶圆商业化以来，单晶晶圆的直径在不断增加，在过

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去的年中，晶体缺陷已被大大减少。商用器件的应用，取决于生

产商制造大型、廉价、无缺陷材料的供应能力。

迄今为止，测定单晶薄膜缺陷的方法有很多种，但测量大面积（如

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英寸、英寸、英寸）单晶薄膜的结晶质量（平均晶体缺陷程度）

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最典型的方法是平行光束射线衍射法（）。但常规的衍射法

易产生很大的误差，例如，受用户测试过程及条件，或样品预处理的

影响，分析的结果会有很大差异。因此，制定一个通用的测定方法标

准是绝对必要的。

（三）主要工作过程

202310

从年月起，深圳职业技术大学发起成立了《精细陶瓷（先

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进陶瓷、先进技术陶瓷）采用平行射线束射线衍射法测定单晶

薄膜（晶圆）结晶质量的方法》国家标准制定预研工作组。

前期工作组成员已经做了大量相关预研工作。第一起草单位，深

圳职业技术大学，