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团体标准

T/CI863—2024

硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备技术条件

Technicalrequirementsforthehybridarc/sputteringionplatingequipmentforhardcoatings

2024-12-30发布2024-12-30实施

中国国际科技促进会发布湖北科学技术出版社出版

I

T/CI863—2024

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4复合离子镀沉积刀具涂层的技术要求 2

4.1镀膜前刀具表面质量控制技术要求 2

4.2靶材质量及检验方法 2

4.3复合离子镀设备的真空技术要求 2

4.4复合离子镀的沉积参数要求 2

5复合离子镀刀具涂层的性能要求和检测方法 3

5.1外观和刀具工作部分 3

5.2涂层厚度 3

5.3涂层硬度 3

5.4结合强度 3

5.5涂层内应力 3

5.6涂层耐磨性 4

II

T/CI863—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由广东华升纳米科技股份有限公司提出。

本文件由中国国际科技促进会归口。

本文件起草单位：广东华升纳米科技股份有限公司、广东工业大学、森泰英格（成都）数控刀具股份有限公司、东莞市中机融耀金属切削刀具有限公司、东莞爱加真空科技有限公司、苏州六九新材料科技有限公司、深圳职业技术大学、辽宁卓越真空设备有限公司、天津职业技术师范大学、北京丹普表面技术有限公司、深圳戴尔蒙德科技有限公司。

本文件主要起草人：李立升、王启民、林海天、许雨翔、李海峡、高荣、伍运锋、魏铁峰、赵升升、王铁钢、胡中军、唐杰。

本文件为首次发布。

T/CI863—2024

1

硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备技术条件

1范围

本文件规定了电弧/溅射复合离子镀设备的技术条件和所沉积硬质涂层的检测方法。

本文件适用于硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T10561钢中非金属夹杂物含量的测定标准评级图显微检验法

GB/T11164真空镀膜设备通用技术条件

GB/T19502表面化学分析辉光放电发射光谱方法通则

GB/T23611金及金合金靶材

GB/T25898仪器化纳米压入试验方法薄膜的压入硬度和弹性模量

GB/T30707精细陶瓷涂层结合力试验方法划痕法

GB/T44335精细陶瓷涂层试验方法基于Stoney公式的陶瓷涂层内应力测定

GB/T45771精细陶瓷干潮环境下陶瓷薄膜的摩擦磨损特性评价方法

JB/T7707离子镀硬膜厚度试验方法球磨法

JB/T11442整体硬质合金涂层刀具检测方法

NB/T47013.3承压设备无损检测第3部分：超声检测

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

复合离子镀hybridionplating

在真空条件下，利用气体放电溅射一靶材的同时可利用电弧蒸发另一靶材，且通过偏置电压在气体离子或被离化的靶材物质的轰击作用的同时在基体上镀膜的技术。

3.2

硬质涂层hardcoatings

2

T/CI863—2024

纳米压痕硬度超过20GPa的涂层材料，根据化学成分，分为氮化物涂层、硼化物涂层、氧化物涂层、碳基涂层或上述材料组合而成的复合涂层。

4复合离子镀沉积刀具涂层的技术要求

4.1镀膜前刀具表面质量控制技术要求

4.1.1刀具清洗前、清洗后表面质量要求如下：

a）刀具在清洗前刃口上无缺口；

b）刀具经过清除油污、活化、漂洗、脱水干燥等工序后，表面不得有油污、水锈和水