T ／CI 863—2024 硬质涂层的电弧 ／溅射复合离子镀设备技术条件.pdfVIP

ICS25.220.40

CCSA20

团体标准

T/CIXXX-2022

T/CI863—2024

硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备

技术条件

Technicalrequirementsforthehybridarc/sputteringionplatingequipmentfor

hardcoatings

2024-12-30发布2024-12-30实施

中国国际科技促进会发布

湖北科学技术出版社出版

T/CI863—2024

硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备技术条件

1范围

本文件规定了电弧/溅射复合离子镀设备的技术条件和所沉积硬质涂层的检测方法。

本文件适用于硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，凡是注日期的引用

文件，仅注日期的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于

本文件。

GB/T10561钢中非金属夹杂物含量的测定标准评级图显微检验法

GB/T11164真空镀膜设备通用技术条件

GB/T19502表面化学分析辉光放电发射光谱方法通则

GB/T23611金及金合金靶材

GB/T25898仪器化纳米压入试验方法薄膜的压入硬度和弹性模量

GB/T30707精细陶瓷涂层结合力试验方法划痕法

GB/T44335精细陶瓷涂层试验方法基于Stoney公式的陶瓷涂层内应力测定

GB/T45771精细陶瓷干潮环境下陶瓷薄膜的摩擦磨损特性评价方法

JB/T7707离子镀硬膜厚度试验方法球磨法

JB/T11442整体硬质合金涂层刀具检测方法

NB/T47013.3承压设备无损检测第3部分：超声检测

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

复合离子镀hybridionplating

在真空条件下，利用气体放电溅射一靶材的同时可利用电弧蒸发另一靶材，且通过偏置电压在气体

离子或被离化的靶材物质的轰击作用的同时在基体上镀膜的技术。

3.2

硬质涂层hardcoatings

1

T/CI863—2024

纳米压痕硬度超过20GPa的涂层材料，根据化学成分，分为氮化物涂层、硼化物涂层、氧化物涂

层、碳基涂层或上述材料组合而成的复合涂层。

4复合离子镀沉积刀具涂层的技术要求

4.1镀膜前刀具表面质量控制技术要求

4.1.1刀具清洗前、清洗后表面质量要求如下：

a）刀具在清洗前刃口上无缺口；

b）刀具经过清除油污、活化、漂洗、脱水干燥等工序后，表面不得有油污、水锈和水渍等残留物。

4.1.2刀具表面质量的检验方法：采用体视显微镜在20~200倍下进行观测。

4.1.3刀具清洗后的存放要求：存放于洁净干燥环境，环境相对湿度≤40%，存放时间≤24h；经喷砂

处理的刀具存放时间≤2h。

4.2靶材质量及检验方法

4.2.1质量要求：

a）采用真空冶炼方法或粉末冶金烧结方法，纯度99.5%；

b）靶材表面粗糙度≤1.6；

b）不允