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薄膜镍钛诺的阻尼

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凯瑟琳·A·,K.P.莫哈昌德拉和格雷戈里·P·卡曼

机械与工程系加州大学洛杉矶分校，加利福尼

亚州洛杉矶，90095‑1597

评估了薄膜镍钛诺作为微尺度阻尼的新解决方案。在本研究中，薄膜镍钛诺在DMAQ800加载框架下进行了稳态和循

环拉伸载荷的机械测试，以确定其刚度和迟滞损失（tanδ0.17）。推导并评估了一种确定多层复合材料阻尼特性

的方法，使用测量值和预测值对镍钛诺薄膜的阻尼特性进行了评估。对于薄膜在MEMS结构中受拉/压载荷的情况，预

测的迟滞损失为tanδ0.76。使用拉/压载荷薄膜阻尼预测方法计算了硅/镍钛诺复合材料的阻尼，结果为tanδ0.

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：阻尼，镍钛诺，形状记忆合金，SMA，层压板，孪晶边界n

1.引言

机械振动造成的损害是许多行业中的一个严重问题，这促使了对包括镍钛诺在内的多种阻尼材料的研究。镍钛

诺已被证明是一种有效的宏观阻尼材料。例如，镍钛诺被用于意大利阿西西的圣弗朗西斯科教堂的抗震阻

尼[1]，以及意大利特里尼亚诺的圣乔治教堂的钟楼[2]。虽然镍钛诺在宏观尺度上有应用方式，但其在微

观尺度上的应用尽管研究较少，可能最大的益处。微尺度传感器已成为无数行业的关键部分，诸如速

度、加速度和温度等信息。然而，这些设备在于机械振动时容易出现确和故障。为了减少这些问

题，需要一种用于MEMS设备的阻尼方法。虽然有关宏观尺度上已表征的阻尼材料的信息非常丰富，但在微观

尺度上证明有效的材料却很少。镍钛诺有潜力填补这一空白。形状记忆镍钛诺利用孪晶边界的自然来吸收

能量。应力诱导的孪晶边界作为一种减震机制尚未得到广泛研究。施加的力使孪晶边界非保守移动，导致

滞回的应力‑应变曲线（即能量吸收）。

对大块Nitinol作为阻尼材料的最早研究之一是由Graesser等人在1991年进行的[4]。Grasser研究了由于相变

引起的阻尼，用于。1997年，Liu等人了关于大块NiTi形状记忆合金阻尼行为的研究[5]。这项研

究考察了由于马氏体孪晶界移动引起的阻尼，并发现阻尼是应变幅度的函数。Fosdick等人在1998[6]中研究了

由于应力诱导相变引起的阻尼。这项研究使用形状记忆合金来地抑制单自由度振荡器的振动。2000年，

VanHumbeck等人研究了由于马氏体相孪晶界移动引起的大块Nitinol的阻尼[7]。这项研究发现阻尼依赖于

应变幅度（正如Lui等人所发现的那样），但几乎与频率无关。这些研究表明，无论是在马氏体到奥氏体的相

变过程中还是在孪晶界移动过程中，大块Nitinol都表现出较大的阻尼能力。文献中缺乏的是关于薄膜Nitinol

阻尼能力的信息。我们的目标是展示薄膜Nitinol的阻尼潜力及其在MEMS应用中的集成潜力。

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2062302kerrigan@seas.ucla.edu