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半导体微盘谐振腔模式特性：理论、影响因素与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在光电子领域不断发展的进程中，半导体微盘谐振腔凭借其独特优势占据了关键地位。它是一种可用于微学习电子学和光学器件的微型谐振器件，具备尺寸小的特点，这使其能够满足现代光电子器件对小型化、集成化的严苛要求，为大规模光子集成提供了可能，如在光通信芯片中，半导体微盘谐振腔可以作为基本的光学元件，实现光信号的处理和传输，大大减小芯片的体积。同时，其能量损耗低，使得光在谐振腔内能够长时间维持振荡，有效提高了光信号的传输效率和稳定性，降低了系统的能耗。快速的调制能力让它能够对光信号进行高速的开关和调制，满足高速通信和信息处理的需求。而极高的品质因子意味着谐振腔对特定频率的光具有极强的选择性和存储能力，能显著增强光与物质的相互作用，这在光学滤波、传感等领域有着至关重要的应用，例如在生物传感中，可利用其高灵敏度检测生物分子的存在和浓度变化。

模式特性作为影响半导体微盘谐振腔性能的核心因素，对其深入研究意义深远。通过探究模式特性，能够为谐振腔的优化设计提供坚实的理论依据。比如，了解不同模式下光场的分布规律，可针对性地调整谐振腔的结构参数，如半径、厚度等，从而提高品质因子和耦合效率。在实际应用中，精确控制模式特性能够提升器件性能，拓展应用范围。在光通信中，优化模式特性可以实现更高速、更稳定的光信号传输，增加通信容量；在光学计算领域，有助于开发新型的光逻辑器件，推动光计算技术的发展；在生物医学成像中，能够提高成像的分辨率和灵敏度，为疾病诊断和治疗提供更有力的支持。

1.2国内外研究现状

国内外众多学者在半导体微盘谐振腔模式特性研究方面已取得了一系列重要成果。在理论研究上，解析法被广泛应用于分析二维圆盘微腔的模式特性。通过该方法，研究人员针对空气中特定折射率的圆盘，给出了TE模式波长随角量子数和径向量子数的变化关系，发现随着径向量子数和角量子数的增加，模场分布更趋向于限制在圆内，这为理解微腔模式的基本特性提供了重要的理论基础。

数值模拟方法在研究中也发挥了关键作用。时域有限差分（FDTD）方法被大量用于模拟微盘谐振腔的模式特性。利用该方法，结合FullWAVE软件，研究人员讨论了不同纵向折射率分布、衬底折射率以及微盘尺寸下的模式特性。研究发现，微腔中的主要光学模式是“回音壁”模式，当衬底折射率较小时，光波能被有效限制在有源层内传播，而当衬底折射率接近有源区折射率时，会出现明显的光泄露。此外，还观察到圆盘横向基模和一阶模的模式波长在特定条件下会出现交叉耦合现象，且高阶模式相比低阶模式更容易形成“回音壁”模式。

在实验研究方面，科研人员通过各种先进的实验技术对理论和模拟结果进行了验证。例如，利用微加工技术制备出高精度的半导体微盘谐振腔样品，再借助光学显微镜、光谱仪等设备对其模式特性进行测量和分析，实验结果与理论和模拟预测在一定程度上具有较好的一致性。

然而，当前研究仍存在一些不足之处。在多物理场耦合对模式特性的影响研究方面还不够深入，实际应用中，半导体微盘谐振腔往往会受到温度、应力等多种物理场的共同作用，这些因素如何综合影响模式特性，目前还缺乏系统的研究。不同材料体系下的模式特性研究也有待进一步拓展，现有的研究主要集中在少数几种常见的半导体材料，对于新型半导体材料或复合材料构成的微盘谐振腔模式特性的研究相对较少。在复杂结构和功能的半导体微盘谐振腔模式特性研究上也存在空白，随着应用需求的不断提高，具有特殊结构（如耦合微盘、光子晶体微盘等）和功能（如可重构、非线性光学等）的微盘谐振腔逐渐成为研究热点，但对其模式特性的深入理解还需要进一步加强。

1.3研究内容与方法

本研究聚焦于半导体微盘谐振腔的模式特性，涵盖多个关键方面的内容。首先，建立精确的半导体微盘谐振腔数学模型，深入探究其基本物理特性和本征模式特征，从理论层面揭示模式产生和演化的内在机制。其次，运用有限元法和有限差分法等数值方法对半导体微盘谐振腔的光学特性进行全面模拟和计算，得到其光学特性曲线和主要性能指标，如品质因子、耦合效率等随结构参数和物理条件变化的规律。再者，深入研究半导体微盘谐振腔的主要性能指标与工艺参数、结构形态等之间的关系，为器件的优化设计提供具体的指导方向。最后，积极探索半导体微盘谐振腔在光学功率计、光子晶体、光频率梳等新兴领域的应用，拓展其应用边界。

在研究方法上，采用理论分析、数值模拟和实验验证相结合的方式。理论分析方面，基于麦克斯韦方程组和相关电磁理论，建立半导体微盘谐振腔的数学模型，通过求解本征方程等方法，分析其本征模式特征和主要物理特性。数值模拟过程中，借助COMSOLMultiphysics等专业有限元软件以及MATLAB等数学计算软件，对不同结构参数和物理条