测试技术与传感器课件：半导体传感器.pptxVIP

半导体传感器

11.1气敏传感器

11.2湿敏传感器11.3色敏传感器思考题与习题;

半导体传感器

11.1气敏传感器

11.1.1气敏传感器概述

气敏传感器是一种把气体中的特定成分和浓度检测出来，并将它转换成电信号的器件。气敏传感器最早用于可燃气体及瓦斯泄漏报警器，用于防灾，保证生产安全，以后逐步推广应用，用于有毒气体的检测、容器或管道的检漏、环境监测(防止公害)、锅炉及汽车的燃烧监测与控制、工业过程的检测与自动控制热水器等方面。目前，工厂和家庭中最常用的几种气敏传感器主要是半导体式和接触燃烧式气敏传感器。

半导体式气敏传感器的品种也是很多的，其中用金属氧化

物半导体材料制成的数量最多，其特性和用途也各不相同。金属氧化物半导体材料主要有SnO?系列、ZnO系列及Fe?O?系列，由于它们的添加物质各不相同，所以能检测的气体也不同。;

半导体传感器

半导体气敏传感器适用于检测低浓度的可燃性气体及毒

性气体，如CO、H?S、NO及C?H?OH、CH?、C?H?等碳氢气体。其测量范围为百万分之几到百万分之几千。

接触燃烧式气敏传感器主要用于可燃性气体的检测，其测量范围为数百万分之几到爆炸下限浓度(LEL)。

半导体气敏传感器的基本工作电路如图11-1所示。负载电阻R串联在传感器中，其两端加工作电压，加热丝f两端加上加热电压U。在洁净空气中，传感器的电阻较大，在负载电阻上的输出电压较小；当遇到待测气体时，传感器的电阻变得较小(N型半导体型气敏传感器检测还原性气体),则R上的输出电压变大。

气敏传感器主要用于报警器，当某气体超过规定浓度时，

报警器会发出警报。;

半导体传感器

UfO丁

图11-1半导体气敏传感器的基本工作电路;

半导体传感器

11.1.2常用气敏元件简介

对于某些危害健康，引起窒息、中毒或容易燃烧爆炸的气体，应注意其含量为何值时达到危险程度，有的时候并不一定要求测出其含量的具体数值。在这种情况下，就需要一种气敏元件，它可以及时提供报警。一般来说，半导体气敏元件对???体的选择性比较差，并不适合精确地测定气体成分，这种元件一般只能够检查某种气体存在与否，却不一定能够精确地分辨出是哪一种气体。尽管如此，这类元件在环境保护和安全监督中仍然有极其重要的作用。为了说明其用途，

下面代表性地介绍几种半导体气敏元件。;

1.氧花锌元件

氧化锌元件是比较常用的一种气敏元件。根据所用的催

化剂的不同，可以推测环境空气中大体含有哪些气体。如N型半导体氧化锌与少量的三氧化二铬混合后，当有催化剂铂存在时，其元件的阻值与环境气体中的乙烷、丙烷、异丁烷的含量有关，含量越高，阻值越小；如果把催化剂换成钯，则对氢、一氧化碳、甲烷很敏感，也就是说这些气体的含量越高，阻值越小；如果这种元件的阻值不变，则表明空气纯净。

若将元件在纯净空气中的阻值用R?表示，则在有上述气体的环境中的阻值用R。表示，以气体的浓度为横坐标，以阻

吕

值比R./R?为纵坐标，气体浓度与元件阻值比之间的关系曲线

如图11-2所示。;

Rg/Ro科技大学出版社

1.0

西安电子

0.5

西安电子技大学出版社

西安电子0技大学0.1社;

半导体传感器

2.以三氧化二铁为主的元件

三氧化二铁也是N型半导体材料，它又分为两种，即a

三氧化二铁和γ三氧化二铁。前者用来检测液化石油气；后

者用来检测乙烷、丙烷、丁烷、氢气和以甲烷为主的天然气，还可以检测乙醇气体。;

半导体传感器

以三氧化二铁为主要材料制做的敏感元件其阻值也是随

着气体中被测气体量的提高而减小。以气体浓度为横坐标，

以元件阻值为纵坐标，可绘出特性曲线，如图11-3所示。在

实际中也可以使用氧化锡-氧化钍气敏元件。在氧化锡中加入少量的氧化钍可制成对一氧化碳特别敏感的元件，这种元

件在200℃左右时对一氧化碳最敏感。它的一个特点是对一氧化碳的灵敏度几乎不受其它气体的影响，也就是说，对一氧化碳有独特的选择性。但是使用时，必须将元件加热，而且必须维持在200℃左右。其它的气敏元件通常也要加热，但是并不像这种元件那样严格。另外，该元件遇到一氧化碳就会使输出振荡电路振荡起来，气体的浓度越高，振荡的频率越低，几乎成反比。其振幅随着浓度的增大而增大。;

R/kΩ子科技大学出版社

600

500

200

100

0.050.10.2;

另外，五氧化二钒元件在加入少量的银之后对于一氧化

氮很敏感，而对其它的气体几乎没有反应。同时，这种元件也需要加热，温度需要维持在300℃。;

半