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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN119642725B(45)授权公告日2025.07.04
(21)申请号202510169980.6
(22)申请日2025.02.17
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119642725A
(43)申请公布日2025.03.18
(73)专利权人杭州新子光电科技有限公司
地址310000浙江省杭州市临安区玲珑街
道庆仙路128号
(72)发明人徐俊毛征宇曲炯明赵鑫炎
(74)专利代理机构北京奥肯律师事务所11881专利代理师雷蕾
(51)Int.CI.
G01B11/06(2006.01)
GO6T7/00(2017.01)
GO6T7/13(2017.01)
GO6T5/70(2024.01)
GO6N3/006(2023.01)
G01B9/02055(2022.01)
(56)对比文件
CN117128877A,2023.11.28
CN116644525A,2023.08.25审查员石隽菲
权利要求书3页说明书8页附图1页
(54)发明名称
一种基于粒子群优化的EPE胶膜P层厚度均匀性检测方法
(57)摘要
CN119642725B本发明公开了一种基于粒子群优化的EPE胶膜P层厚度均匀性检测方法,具体涉及EPE胶膜检测领域,包括搭建光学干涉检测系统,光学干涉检测系统包括激光光源、分光器、干涉探测器和数据采集模块;将EPE胶膜样品放置于光学干涉检测系统的测量区域中,紧接着调整激光光源、分光器的光路参数,通过干涉探测器捕获不同位置的干涉图像,干涉图像包括条纹位移、条纹间距及条纹强度分布,干涉图像用于反映EPE胶膜P层厚度的变化信息。通过光学干涉检测结合粒子群优化算法,建立了胶膜P层厚度分布模型,模型综合条纹位移、条纹间距和条纹强度分布的信
CN119642725B
检测环境搭建
检测环境搭建
数据采集
图像预处理
特征参数提取
厚度分布建模
粒子群优化
CN119642725B权利要求书1/3页
2
1.一种基于粒子群优化的EPE胶膜P层厚度均匀性检测方法,其特征在于,包括:
首先搭建光学干涉检测系统,光学干涉检测系统包括激光光源、分光器、干涉探测器和数据采集模块;将EPE胶膜样品放置于光学干涉检测系统的测量区域中,紧接着调整激光光源、分光器的光路参数,通过干涉探测器捕获不同位置的干涉图像,干涉图像包括条纹位移、条纹间距及条纹强度分布,干涉图像用于反映EPE胶膜P层厚度的变化信息;数据采集模块用于记录干涉探测器所捕获的干涉图像;
对采集到的干涉图像进行数字化处理,以去除噪声干扰;紧接着通过图像处理算法提取条纹的特征参数;图像处理算法包括边缘检测算法;
根据光学干涉的物理特性,将干涉图像中提取的特征参数与胶膜P层厚度分布相互关联,并建立胶膜P层厚度分布模型;
通过粒子群优化算法迭代调整胶膜P层厚度分布模型的参数,优化胶膜P层厚度分布模型与实际干涉图像数据的拟合精度,并完成厚度均匀性的分析与验证;
初始化粒子群优化算法,设定粒子群规模,在参数空间中随机生成多个初始解,每个粒子对应一个厚度分布方案;同时初始化粒子的速度和位置,并定义适应度函数;
利用粒子群优化算法进行迭代计算,在每次迭代中,根据粒子群优化的规则更新粒子的速度和位置;
在每次迭代后,计算每个粒子的适应度值,适应度值用于反映胶膜P层厚度分布模型的预测结果与实际测量的干涉图像数据之间的误差;
在每轮迭代中,记录当前粒子个体的解,并不断更新全局的解,当适应度值小于预设阈值或其迭代次数达到上限时,停止优化,输出最终的胶膜P层厚度分布模型;
利用优化后的胶膜P层厚度分布模型的参数,生成EPE胶膜样品的厚度分布图,通过厚度分布图展示EPE胶膜样品不同区域的厚度变化情况;
基于EPE胶膜样品的厚度分布图与实际检测值进行对比,评估模型的拟合精度;
干涉图像的特征构成包括条纹位移、条纹间距及条纹强度分布;
条纹位移表达为:条纹中心在(x,y)平面中的偏移;
△x=Xcurent-Xreference,△y=Ycurrent-Yreference;
其中Xcurent,Ycurrent分别为当前条纹中心在x轴和y轴上的坐标;Xreference,Yreference分别为参考条纹中心在x
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