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电子元件与材料第43卷第5期5月2024年
ElectronicComponentsandMaterialsVol.43No.5May2024
内部气氛含量分析环境下本底材料放气率研究
1112111
罗捷,邱宝军,张烨,蔡宇宏,夏江,周帅,陈海鑫
(1.工业和信息化部电子第五研究所,广东广州510610;2.兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000)
摘要:气密封装器件的内部气氛含量分析中,设备本底材料放气率是影响分析准确性的重要因素。采用静态升压
法,对5种真空设备主要材料在3种典型温度和抽气时间下的放气率进行了深入研究。研究表明,相同条件下304
不锈钢、430不锈钢和钛材料的放气率均低于碳素钢和高纯铝,且同种材料在高温环境下的放气率随测试时间增加
而增大。最后,基于材料成型等因素,建议选用304不锈钢和430不锈钢作为内部气氛含量分析的腔体环境使用材
料,并给出了有效降低本底放气率的措施。
关键词:内部气氛含量;放气率;气密封装器件;静态升压法
中图分类号:TN304文献标识码:A
-
DOI:10.14106/ki.10012028.2024.1391
引用格式:罗捷,邱宝军,张烨,等.内部气氛含量分析环境下本底材料放气率研究[J].电子元件与材料,2024,
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43(5):625630.
Referenceformat:LUOJie,QIUBaojun,ZHANGYe,etal.Researchonmaterialsoutgassingrateduringinternalgas
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contentanalysis[J].ElectronicComponentsandMaterials,2024,43(5):625630.
Researchonmaterial′soutgassingrateduringinternalgascontent
analysis
1112111
LUOJie,QIUBaojun,ZHANGYe,CAIYuhong,XIAJiang,ZHOUShuai,CHENHaixin
(1.ChinaElectronicProductReliabilityandEnvironmentalTestingResearchInstitute,Guangzhou510610,China;
2.LanzhouInstituteofSpaceTechnologyandPhysics,Lanzhou730000,China)
Abstract:Forinternalgascontentanalysisofairtightpackagingdevices,theoutgassingrateofthematerialsofaequipme
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