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大气压低温等离子体射流实验装置及仿真模型分析综述

大气压低温等离子体射流实验装置

针对各种应用的需求，人们从激发源、电极结构、气体组分、空间尺度等方面设计了多种多样的大气压低温等离子体射流实验装置，得到了性质各异的等离子体射流，因此按照不同的划分标准有不同的分类方法。

(一)驱动电源

按照驱动电源的不同可以分为直流、脉冲直流、交流、射频、微波诱导驱动等离子体射流。

(1)直流驱动等离子体射流

直流驱动等离子体射流电源成本低、功率小、放电结构简单。为了保持射流的稳定、维持放电模式不发生转变，往往通过限流电阻将电极与电源相连接，同时流动的气流也能够降低放电气体温度，对热稳定性较好。缺点是电源功率大多消耗在了限流电阻上，使得耦合效率较低。

图1-2Bussiahn直流驱动等离子体射流装置示意图

2010年，Bussiahn等制作了如图1-2所示的单电极直流驱动射流装置，该装置仅有一个高压电极，射流存在于高压电极与被处理物之间。它能够产生长1.5厘米，直径30微米的细丝状等离子体。该实验装置主要对牙齿根管进行杀菌消毒，通过生物灭活实验结果证实对典型口腔病菌能够有效灭活ADDINNE.Ref.{A6A68EEA-F7BF-4762-BC36-A1}[24]。

2008年，Kolb等ADDINNE.Ref.{73DEC1B2-743A-481A-9EC1-1E0C77FCC96E}[25]制作了双电极直流驱动射流装置，通过高压电极与地电极之间的放电反应产生等离子体，再经由气流流动将其喷射到空气中。研究发现气体流速、处理物与喷口距离都会对气体温度有影响，当气体流量超过220ml/min时，喷口处气体温度已接近室温。用该射流对琼脂上生长的酵母菌处理时，能够有效杀灭酵母菌，这为医学上治疗皮肤感染酵母菌提供了一种可能。

(2)交流驱动等离子体射流

交流驱动等离子体射流的电源频率一般为kHz级，外加电压在1-10kV范围内，工作气体有惰性气体、氮气、空气等，其主要应用方向为材料表面改性。典型的大气压低温等离子体射流装置如图1-3所示，两个环电极环绕在介质管外侧，一个电极接交流电源，一个电极接地。

图1-3典型交流驱动等离子体射流装置示意图

Teschke等ADDINNE.Ref.{F7DFA282-0A5E-42E9-BE5C-EE0B6471ACB8}[26]使用ICCD高速摄像机对射流拍照后发现，射流并不是连续的，实际上是由快速移动的球状发光结构组成的，并提出了“等离子体子弹”这一术语。Walsh等ADDINNE.Ref.{91F9DDBE-1EED-4967-A88C-0682FBEAB2C2}[27]发现等离子体子弹的动力学行为与电源的频率有很大关系，当驱动频率低于约200kHz时，子弹表现为近似球状发光的结构，而频率达到约400kHz时，射流转换为条状结构。射流子弹的推进速度为104?106m/s，远大于气流速度，说明射流是由电场驱动而不是气流驱动。

研究表明，外加电场方向与射流喷射方向相同时，产生的射流长度更长，并且电子能量、活性粒子密度更大。Keidar等ADDINNE.Ref.{48E62D2B-2C1E-425C-AA6A-396A72856EE1}[28]将该类设备用于生物医疗，其优势在于较低电压即可产生射流，但当等离子体与处理物接触时，放电模式有变为电弧放电的危险，因此使用时还需谨慎小心。为了稳定放电模式，Lu等ADDINNE.Ref.{AB541FD6-53B9-42B0-B1DE-A50CF7AF5C09}[29]在环电极表面包裹了一层石英玻璃介质，产生了长达11cm的氦气等离子体射流，这保证了射流与人体接触的安全性。

(3)射频驱动等离子体射流

射频等离子体射流的驱动电源频率达到MHz，射流温度高于室温。为了维持放电稳定，部分设备有水冷却系统。在等离子体刻蚀、材料表面改性、薄膜沉积、生物医疗等方面有广泛应用。

图1-1中最早的大气压低温等离子体射流装置就是由射频电源驱动ADDINNE.Ref.{7C3678E5-84BB-48C4-A9C0-F4A60C3660A8}[4]，频率为13.56Mz。其电极结构较为简单，两个电极之间没有介质，当电源功率过高或者气体流速过低时，高压电极容易出现电弧放电，对处理物有损伤。为了维持放电模式的稳定，往往采用介质将两个电极隔开。Kieft等ADDINNE.Ref.{7FFC1207-3AE0-4E04-A67F-9D507FE98568}[30]研制了一种新型等离子体射流装置，解决了射流温度过高的问题，可以用于生物医疗。

图1-4Kieft研制的射频驱动等离子体射流装置

(4)微波