原创力文档TC5-EM7-0011006
Hitachi-IONCOATER簡易簡易操作手冊操作手冊
簡易簡易操作手冊操作手冊
1.Mainvalueopen(聽到洩氣聲)。
2.放sample
3.將蓋子放回並輕壓
4.Poweron
5.抽真空，真空需抽至10pa(若未達真空10pa，電壓會跳掉)
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