半导体设备专题：半导体射频电源，刻蚀+CVD设备-30页.pdfVIP

证券研究报告|行业深度|机械设备

机械设备报告日期：2023年12月18日

半导体射频电源：刻蚀+CVD设备的核心，国产化替代拐点已至

——半导体设备行业深度报告

投资要点行业评级:看好(维持)

❑射频电源：半导体工艺控制的核心，应用于CVD薄膜沉积、刻蚀等核心环节

1)什么是射频电源？用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频分析师：邱世梁

执业证书号：S1230520050001

电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离、形成等离子体。从而在腔体qiushiliang@

内部实现不同的工艺需求。

分析师：王华君

2)下游应用在哪？半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台执业证书号：S1230520080005

的关键零部件之一，与工艺直接相关。射频电源的应用直接关系到腔体中wanghuajun@

的等离子体浓度、均匀度和稳定度，影响到终端晶圆刻蚀、成膜的质量。

分析师：李思扬

3)为什么值得关注？此前受制于下游对半导体核心零部件替换意愿弱、且对执业证书号：S1230522020001

性价比不敏感等因素，国产替代诉求较弱。2022年10月美国出台的“半lisiyang@

导体制造”最终用途限制措施，进一步限制国内半导体的发展，射频电源相关报告

已成为“卡脖子”环节之一，国产替代需求紧迫。1《特斯拉新一代人形机器人亮

❑行业趋势：全球/国内270/70亿元市场，国产化率极低、未来2年将提速相；推荐人形机器人、半

1)市场空间：受益于新增扩产+存量替换市场需求，我们测算：预计2025年导体设备、3C设备》

2023.12.17

全球半导体射频电源市场空间有望达270亿元，国内市场空间达70亿元。

2《中央经济工作会议推进“三

未来随着半导体资本开支的上行、市场空间有望持续打开。大工程”，期待稳增长加

2)竞争格局：全球射频电源主要被2家美系厂商寡头垄断。2022年美国MKS码、内需改善》2023.12.17

和AE合计市占率达87%，其余日德企业占据少量份额，国产化率极低。在3《11月挖机销量同比走弱；持

续看好人形机器人、半导

半导体“卡脖子”背景下、国内厂商英杰电气、恒运昌、北方微电子与下

体设备、3C设备等》

游设备厂共同成长，在射频电源产品供应方面已实现批量订单突破。2023.12.12

3)行业趋势：我们认为行业将受益于——海外供应瓶颈+库存消耗周期因素+

半导体资本开支提速的3重因素叠加，半导体射频电源国产替代进程有望

进入加速期。预计半导体射频电源的国产替代趋