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硅光力学振荡器中非线性动力学现象研究.pdf

硅光力学振荡器中非线性动力学现象研究.pdf

    Th4A.001

    光力学振荡器中的非线性动力学

    S.Tallur*和S.A.Bhave氧化物MEMS，康奈

    尔大学，纽约州伊萨卡，

    按照先前工作[9]中详细描述的工艺流程制造的。环形几

    腔光力系统中的光力学振荡器利用了微谐振器中高品质何结构（半径21μm，环宽3.

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