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第40卷第10期液晶与显示Vol.40No.10

2025年10月ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplaysOct.2025

文章编号：1007-2780（2025）10-1450-08

TFT基板创新遮光维修及参数优化分析

谈思云，何彬，胡延雨，蒋腾腾，张小松，李登涛，刘浩然*

（合肥京东方显示技术有限公司，安徽合肥230012）

摘要：针对TFT基板上发生率约为0.23%的某些特定亮点型不良无法维修的情况，提出一种使用UV固化型黑色遮光

材料对亮点像素进行遮盖涂覆的方法。本方法可用于维修所有的亮点型不良，充分提升了基板暗点化维修的能力。首

先通过点灯检测、显微镜观察、聚焦离子束分析等系列实验，验证了遮光材料涂覆亮点像素暗点化维修的可行性；然后利

用对比实验探究得到实现暗点化的重要控制参数为遮光率和涂覆高度，分别探究了红外强度、红外作用时间以及吐出压

力3个因素对二者的影响；最后引入响应面分析法，构建了遮光率和涂覆高度对应的响应预测模型并与实验数据进行对

比验证，解析得到最优工艺参数为红外强度87.9%、红外作用时间2488ms、吐出压力0.0158MPa。根据实验结果投

入量产测试，TFT基板上不同诱因的亮点型不良维修成功率达98%。

关键词：TFT基板；暗点化维修；物理遮光；红外加热；响应面法

中图分类号：TN141.9；TP391.4文献标识码：Adoi：10.37188/CJLCD.2025-0147CSTR：32172.14.CJLCD.2025-0147

Innovativeshadingmaintenanceandparameter

optimizationanalysisofTFTsubstrate

*

TANSiyun，HEBin，HUYanyu，JIANGTengteng，ZHANGXiaosong，LIDengtao，LIUHaoran

（HefeiBOEDisplayTechnologyCo.Ltd.，Hefei230012，China）

Abstract：InordertosolvetheissueofcertainspecificbrightspotdefectsonTFTsubstrates，whichoccur

atarateofapproximately0.23%andcannotberepaired，amethodofcoatingbrightspotpixelswithUV

curableblackshadingmaterialisproposed.Thismethodcanbeusedtorepairallbrightspotdefects，and

theabilitytorepairthesubstratebydarkeningthepixelsisfullyenhanced.Firstly，aseriesofexperiments

includinglightingdetection，microscopicobservation，andfocusedionbeam（FIB）analysiswere

conductedtoverifythefeasibilityoflight