原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
机械工程师
MECHANICALENGINEER
自解耦二维微位移平台设计与分
析
张玉嘉，张剑
（同济大机械与能源工程院，上海201804）
摘：要
提出了一种以压电陶瓷驱动、以柔性铰链传动的自解耦二维微位移平台。该平台通过桥式机构放大输入位移，并
基于双四杆平行四边形导向机构实现二自由度运动解耦。建立了柔性铰链的伪刚体模型，推导出柔性铰链弯曲刚度、平
台
输出刚度表达式，通过能量法计算了平台一阶固有频率。经试验验证，平台工作行程为126.10μm×126.30μm，重复定位精
：
度
可达0.29μm，运动耦合率小于2.2%，一阶固有频率为1096.12Hz。结果表明，文中的设计分析方法可靠，微位移平台性
能表现较好，具有较高的实用意义。
关键词压电陶瓷；柔性铰链；桥式机构；双四杆平行四边形导向机构；运动解耦
中图分类号:TH16；TH702文献标志码:粤
文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园21）12原园033原园4DesignandAnalysisofSelf-decoupling2-DOFMicro-
displacementPlatform
ZHANGYujia,ZHANGJian
（SchoolofMechanicalEngineering,TongjiUniversity,Shanghai201804,China）
Abstract:Aself-decoupling,2-degreeoffreedom(DOF)andmicro-displacementplatformisproposed,whichisdriven
andtransmittedbythepiezoelectricceramicandflexiblehinge,respectively.Theinputdisplacementisamplifiedusing
thebridgemechanism,andrealizedmotiondecouplingbasedondoublefour-barparallelogramguidemechanism.The
pseudo-rigid-bodymodelofflexiblehingeisestablished,andtheexpressionsofboththebendingstiffnessofflexible
hingeandtheoutputstiffnessofplatformarededuced.Thefirst-naturalfrequencyofplatformiscalculatedviatheenergy
method.Throughexperimentalverification,theworkingstrokeoftheplatformis126.10滋m伊126.30滋m,andtherep
eat
positioningaccuracycanreach0.29滋m.Thecouplingrateofmotionislessthan2.2%,andthefirstnaturalfrequencyi
s1096.12Hz.Theresultsshowthatthisdesignanalysismethodisreliableandthemicro-
displacementplatformhas
文档评论（0）