CN120274952A 分子气室漏率检测方法、电子设备和检测系统 （成都中微达信科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120274952A(43)申请公布日2025.07.08

(21)申请号202510765651.8

(22)申请日2025.06.10

(71)申请人成都中微达信科技有限公司

地址610000四川省成都市高新区中国(四

川)自由贸易试验区成都益州大道中

段1800号1栋1101室

(72)发明人余宇刘畅曾耿华吴峰

(74)专利代理机构北京维飞联创知识产权代理有限公司11857

专利代理师蒋姗

(51)Int.CI.

GO1M3/00(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图2页

(54)发明名称

分子气室漏率检测方法、电子设备和检测系

统

(57)摘要

CN120274952A本申请提供了一种分子气室漏率检测方法、电子设备和检测系统，其中，该方法可以包括：测试待测分子气室的波谱数据；根据所述波谱数据，计算所述波谱数据的半高宽；基于多个时间得到的半高宽，确定出所述待测分子气室的漏率。在上述的方法中，能够在更好地保证分子气

CN120274952A

测试待测分子气室的波谱数据

根据波谱数据，计算波谱数据的半高宽

基于多个时间得到的半高宽，确定出待测分子气室的漏率

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CN120274952A权利要求书1/2页

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1.一种分子气室漏率检测方法，其特征在于，包括：

测试待测分子气室的波谱数据；

根据所述波谱数据，计算所述波谱数据的半高宽；

基于多个时间得到的半高宽，确定出所述待测分子气室的漏率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于多个时间得到的半高宽，确定出所述待测分子气室的漏率，包括：

基于多个时间得到的半高宽，构建所述半高宽随时间的第一变化规律；

基于所述第一变化规律，以及预设变化关系，确定出所述待测分子气室的漏率；其中，所述预设变化关系表示所述半高宽的变化率与所述待测分子气室的漏率之间的关系，所述预设变化关系为前置标定的值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设变化关系的确定方式包括：

构建所述待测分子气室的气压随时间的变化的第一变化关系；

构建所述待测分子气室的半高宽随时间的变化的第二变化关系；

基于所述第一变化关系与所述第二变化关系，确定出所述预设变化关系。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述预设变化关系表示为以下公式：

其中，Qz[Pa·m3/s],表示所述待测分子气室封装后的漏率；Vgascel[m3]表示所述待测分子气室的体积；co[m/s]表示光速；PATM[Pa]表示标准大气压；αair[cm-11]表示OCS气体在231GHz附近吸收时，杂质空气的洛伦兹波数的半高半宽；[Hz/s]表示半高宽随时间变化率。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的方法，其特征在于，所述波谱数据包括波谱变化趋势；

所述测试待测分子气室的波谱数据，包括：

测试待测分子气室，在多个不同频率下的确定出的功率；

基于所述多个不同频率下的功率，进行曲线拟合，以得到所述待测分子气室的波谱变化趋势。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述波谱数据，计算所述波谱数据的半高宽，包括：

在所述波谱变化趋势中确定出处于半波峰的第一位置和第二位置；

基于所述第一位置和所述第二位置，获得所述波谱数据的半高宽。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试待测分子气室的波谱数据，包括：

按照设定时间规律测试待测分子气室的波谱数据，其中，所述设定时间规律包括在指定时间节点、每隔相同时间间隔、每隔设定时间梯度中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

基于所述分子气室的漏率，确定出所述待测分子气室内的压力变化；

根据所述压力变化，获得所述分子气室的寿命。

CN120274952A权利要求书2/2页

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9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储器，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如权利要求1至8任意一项所述的方法的步骤。

10.一种检测系统，其特征在于，包括：发射机、接收机、频谱仪以及处理