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公司炉内器件高纯处理工岗位合规化操作规程

文件名称：公司炉内器件高纯处理工岗位合规化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司炉内器件高纯处理工岗位的操作，旨在规范岗位员工在处理高纯器件过程中的安全操作，确保人员安全、设备稳定运行及产品质量。规程要求所有操作人员必须熟悉并严格遵守各项规定，确保合规化操作，预防事故发生。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入高纯处理区域前，必须穿戴公司规定的防护服、手套、口罩、护目镜和鞋套。防护服需无破损，确保不泄露皮肤；手套应选择适合材质，防止化学品渗透；口罩和护目镜需佩戴到位，确保面部无裸露；鞋套应覆盖整个鞋面，防止化学品接触皮肤。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备是否处于正常工作状态，包括电源、阀门、管道等；

b.检查设备密封性，确保无泄漏；

c.检查设备运行参数是否在正常范围内，如温度、压力等；

d.检查设备安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、报警系统等；

e.检查设备清洁度，确保无污染物。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域应保持整洁，无杂物堆积；

b.确保通风良好，空气流通，避免有害气体积聚；

c.地面铺设防滑材料，防止操作人员滑倒；

d.设置明显的警示标志，提醒操作人员注意安全；

e.定期检查照明设施，确保光线充足。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，确认所有人员已穿戴好防护用品，并检查设备状态；

b.依次打开设备电源，按顺序启动各个子模块，确保设备各部分协同工作；

c.根据工艺要求设定设备参数，如温度、压力等；

d.启动高纯气体供应系统，确保气体纯度符合要求；

e.监控设备运行状态，及时调整参数；

f.操作完成后，关闭设备，切断电源，释放压力；

g.清理作业区域，收集废弃物，进行分类处理。

2.特定操作技术规范：

a.高纯气体供应：确保气体纯度达到工艺要求，避免杂质污染；

b.温度控制：严格按照工艺要求调整温度，防止设备过热或冷却不足；

c.压力控制：监控设备压力，确保在安全范围内运行。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备异常，立即停止操作，切断电源；

b.确定异常原因，采取相应措施进行修复；

c.如无法自行处理，立即上报上级，寻求专业技术人员支援；

d.在异常处理期间，确保现场安全，防止事故扩大；

e.异常处理完毕后，重新进行设备检查，确认无隐患后方可继续操作。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动；

b.设备噪音在正常范围内，无异常响声；

c.设备各仪表显示正常，温度、压力等参数稳定；

d.高纯气体供应稳定，无泄漏现象；

e.电气系统无过载、短路等异常情况；

f.安全防护装置有效，如紧急停止按钮、报警系统等正常工作。

2.常见故障现象：

a.设备运行不稳定，出现振动或噪音增大；

b.仪表显示异常，温度、压力等参数波动；

c.高纯气体供应中断或纯度下降；

d.电气系统出现故障，如过载、短路等；

e.安全防护装置失效。

3.状态监控方法：

a.定期检查设备外观，观察是否有磨损、变形等迹象；

b.监控仪表显示，确保各项参数在正常范围内；

c.定期进行设备保养，如润滑、清洁等；

d.使用听诊器、红外测温仪等工具进行设备状态检测；

e.建立设备运行日志，记录设备运行状态和异常情况；

f.定期对设备进行专业维护和检修。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行测试要点：

a.定期检测设备各部件的运动轨迹，确保顺畅无阻；

b.检查设备温度传感器读数，确保温度控制系统的准确性；

c.测试气体供应系统的压力和流量，确保稳定供应；

d.验证电气系统的绝缘性能，防止漏电风险；

e.检查安全防护系统，确保在紧急情况下能够有效启动。

2.调整方法：

a.温度调整：根据工艺要求，通过调节加热器功率或控制冷却系统流量来实现；

b.压力调整：通过调节阀门开度或使用调节器来控制；

c.流量调整：通过调节流量计前的阀门开度来控制；

d.电气参数调整：根据需要调整电源参数，如电压、频率等。

3.不同工况下的处理方案：

a.设备运行过热：立即停止设备，检查冷却系统，必要时调整冷却液流量；

b.设备运行压力异常：检查气体供应系统，确保无泄漏，必要时重新设定压力；

c.设备振动过大：检查固定装置，确保设备固定牢固，必要时调整；

d.设备运行噪音异常：检查轴承和齿轮等部件，进行润滑或更换磨损部件；

e.安全防护装置失效：立即停