微磷阻垢缓蚀剂
原料配比
原料
配比(质量份)
1#
2#
3#
4#
5#
2-膦酸基丁烷-1,2,4-三羧酸(PBTCA)
10
—
—
30
20
2-羟基膦酰基乙酸(HPAA)
—
40
20
—
—
四元共聚物
350
200
300
280
350
三元共聚物
150
400
300
250
220
苯骈三氮唑
10
—
20
—
10
甲基苯骈三氮唑
—
40
—
30
—
氯化锌
10
—
—
20
30
七水硫酸锌
-
30
30
-
-
去离子水
470
290
330
390
370
制备方法将上述原料按预定比例在反应釜中进行混合,混合的环境温度为20~30℃,
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