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子孔径拼接干涉检测光学镜面算法：原理、应用与优化

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，光学元件的高精度制造与检测是推动光学技术发展的关键环节。光学镜面作为众多光学系统的核心部件，其面形精度直接决定了整个光学系统的性能优劣。从日常使用的相机镜头、望远镜，到高端的光刻机、天文观测设备，再到前沿的激光核聚变装置、空间光学望远镜等，光学镜面的身影无处不在，其精度要求也从微米级逐步迈向纳米级甚至更高精度。

例如，在天文观测领域，大口径望远镜的光学镜面精度直接影响其对遥远天体的观测能力。若镜面存在微小误差，光线在反射或折射过程中就会发生偏离，导致成像模糊、分辨率降低，使天文学家难以捕捉到宇