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脉冲电流和溅射气压对轴瓦内表面制备Al-Sn-Cu薄膜的影响.docxVIP

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  • 2026-01-26 发布于浙江
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脉冲电流和溅射气压对轴瓦内表面制备Al-Sn-Cu薄膜的影响.docx

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    圆园24年第12期网址：电邮：hrbengineer@163.com

    脉冲电流和溅射气压对轴瓦内表面制备Al-Sn-Cu薄膜的影响

    唐玉峰，张健，唐智聪

    （沈阳化工大学机械与动力工程学院，沈阳110142）

    摘要：通过脉冲直流磁控溅射技术在铜

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