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分层冰冻固结磨料抛光垫：设计创新与性能优化探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，表面处理技术对于提升产品质量和性能起着关键作用，而磨料抛光技术作为一种重要的表面处理手段，广泛应用于电子、光学、航空航天等众多领域。例如，在半导体制造过程中，芯片表面的平整度和光洁度直接影响着芯片的性能和可靠性，高精度的磨料抛光技术能够确保芯片表面达到纳米级别的平整度，从而满足先进制程工艺的要求。在光学领域，镜头、反射镜等光学元件需要通过抛光获得极高的表面光洁度，以保证光线的传输和成像质量。

传统的抛光垫，如石墨、钢、金刚石等硬度较高的材料制成的抛光垫，在实际应用中暴露出诸多不足。一方面，其制作