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化学品管道施工要领

目录

引言1

1.方法特点：2

2.适用范围：2

3.工艺原理2

4.施工工之流程及操作要点3

4.1.施工工艺流程3

4.2.操作要点4

4.3.穿管施工重点注意项：7

5.材料与设备7

6.质量控制8

6.1.工程质量控制要求8

6.2.质量保证措施8

7.危险化学品输送管道的安全管理规定9

引言

在半导体、集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中，生产工艺需用的各种无机化学品药液

主（要包括各类酸、碱、盐等）需要通过管道输送到工艺设备，这些化学品药液中具有强腐蚀性、易

燃性、易爆性和剧毒性等危害，为防止化学品管道的输送过程对人、设备造成伤害以及对环境造成

的污染，保证电子工业厂房化学品管道安全有效输送，要求此类管采用双套管的施工方法，而传统

的双套管施工工艺是透明PVC管内穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

工艺采用了透明PVC管内穿PFA软管的施工方法，即管道系统包括内外管两层管道，内管采

用四氟乙烯与全氟燃基乙烯醛的共聚物的软质管道分（PFA/PVDF/ECTFE等系列），内管为输送化学

品的管道，外管采用透明PVC管道，为保护管道。

输送管道规格一般为DN10、20、25、50（1/4”、3/4”、1、2”）的焊接型PFA管材及其管件，

管道、附件均通过专用PFA焊接机进行焊接，与设备连接通常为法兰连接。

系统组成：系统一般由设于化学品间外墙的接收装置、化学品间内的化学品接收储罐、供给装

置、化学品供给管路组成。

a.化学品接收装置，设置在化学品间内，于外墙设有接收窗，直接将室外化学品槽车的化学品

接收，并注入药品储罐内；

b标准化学品接收储罐，置于化学品间地下基础之上，储存化学品；

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C,化学品供给装置，置于化学品间内，向使用设备供应化学品；

d.化学品供给管路，自接收装置至化学品储罐，再由化学品储罐至化学品供给装置。

由外套管及内管组成，外管均为透明PVC管，内管由焊接型PFA管及PFA弯头组成。

这类管道一般用于接收装置至化学品接收储罐至供给装置的管路。

1.方法特点：

1.1内穿软管的管道系统山两层组成：

内层为四氟乙烯与全氟烬基乙烯醛的共聚物的PFA软质管道（以下简称PFA软管），外层为透明

PVC的管道。

内穿PFA软管为输送无机化学品的流通的管道，外层透明PVC管道为保护管路，对防止化学

品自内穿软管泄漏起到屏障作用，

1.2外层透明PVC的管道安装完毕，并进行试压合格后，再进行内管PFA软管的穿管施工。

1.3外层透明PVC管的透明效果增强可视性；

PFA软管为整卷通（常有100米和200米的长度规格），通常中间无接头，直接在透明PVC管内

穿管。

1.4本工法将管路内、外管的施工工序有机的组合，确保施工高效、有序，也能保证施工质

量，降低了施工成本同时保障了管道系统的安全。

2.适用范围，

适用于电子工业厂房的集成电路制造、液晶显示板制迨等行业，生产工艺中使用无机化学品输

送且内管为PFA软管的管路系统的施工

3.工艺原理

3.1外层透明PVC管道直接采用专用PVC胶水粘接。

3.2管道系统无三通分支，管道系统的阀门均设置在设备箱体或专用阀门箱内。

透明PVC管道弯采用热风煨弯制作，直线段透明PVC管道的连接采用管箍连接，管箍的承

口与PVC管道