1 mm圆柱形压电微驱动器的有限元分析与设计.pdfVIP

年第卷第期传感器与微系统（）

２０２４４３６ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ７３

：—（）——

ＤＯＩ１０．１３８７３／Ｊ．１０００９７８７２０２４０６００７３０４

１ｍｍ圆柱形压电微驱动器的有限元分析与设计

刘周龙，周铄，朱强国，郑友成，王光庆

（浙江工商大学信息与电子工程学院（萨塞克斯人工智能学院），浙江杭州３１００１８）

：研究设计了一种直径为、长度为的压电微驱动器，拟用于光学相干层析成像（）内

摘要１ｍｍ５ｍｍＯＣＴ

窥镜样机驱动与控制。利用有限元分析（）软件对定子进行有限元建模和仿真，研究了材料参数和结

ＦＥＡ

构尺寸对定子振动特性和模态频率的影响。研究结果表明：微型驱动器定子的一阶弯曲振动频率为

２１ｋＨｚ。定子谐振频率随定子长度的增加急剧降低，随陶瓷厚度的增大而增大；粘接剂的材料特性与厚度

对定子的模态频率影响不大，但对定子的振动特性有较大影响。当激励电压为１００Ｖ时，频率为２１ｋＨｚ，驱

动器空载转速达到，堵转力矩为·，基本满足内窥镜应用要求。

４００ｒ／ｍｉｎ２．５ｍＮｍＯＣＴ

关键词：振动特性；有限元模型；一体化定子；粘接层

中图分类号：；文献标识码：文章编号：—（）——

ＴＨ１２８ＴＭ３８Ａ１０００９７８７２０２４０６００７３０４

ＦＥＡａｎｄｄｅｓｉｇｎｏｆ１ｍｍｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ

ｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒ

，，，，

ＬＩＵＺｈｏｕｌｏｎｇＺＨＯＵＳｈｕｏＺＨＵＱｉａｎｇｇｕｏＺＨＥＮＧＹｏｕｃｈｅｎｇＷＡＮＧＧｕａｎｇｑｉｎｇ

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ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＳｕｓｓｅｘＡｒｔｉｆｉｃｉａｌＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｃｅＩｎｓｔｉｔｕｔｅ

ＺｈｅｊｉａｎｇＧｏｎｇｓｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００１８，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒｗｉｔｈｄｉａｍｅｔｅｒｏｆ１ｍｍａｎｄｌｅｎｇｔｈｏｆ５ｍｍｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄｔｏｄｒｉｖｅａｎｄ

ｃｏｎｔｒｏｌｔｈｅｐｒｏｔｏｔｙｐｅｏｆｏｐｔｉｃａｌｃｏｈｅｒｅｎｃｅｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ（ＯＣＴ）ｅｎｄｏｓｃｏｐｅ