CN118603283A 一种双膜结构全石英光纤声压传感器及其制作方法 （上海大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118603283A

(43)申请公布日2024.09.06

(21)申请号202410639881.5

(22)申请日2024.05.22

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人张小贝陈宁张琦马俊龙

但德春邓传鲁黄怿王廷云

(74)专利代理机构上海恒慧知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31317

专利代理师张宁展

(51)Int.Cl.

G01H9/00(2006.01)

G01D5/353(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种双膜结构全石英光纤声压传感器及其

制作方法

(57)摘要

本发明提供了一种双膜结构全石英光纤声

压传感器及其制作方法，该双膜结构原理为法布

里珀罗干涉，传感器结构由单模光纤、柚子型光

纤构成，通过柚子型光纤和单模光纤进行放电熔

接形成单模‑柚子‑单模结构的法布里珀罗干涉

仪，通过研磨机对一端单模光纤进行研磨，使形

成厚度在微米量级的平整圆膜片，后通过飞秒激

光减材加工工艺制备波纹膜片，并在柚子型光纤

上微加工出微孔阵列结构，使氢氟酸溶液可以进

入到柚子型光纤内部进行选择性腐蚀，最后形成

悬空的纤芯，作为波导膜片。

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CN118603283A权利要求书1/2页

1.一种基于法布里珀罗原理的双膜结构全石英光纤声压传感器，其特征在于，包括第

一单模光纤、柚子型光纤和第二单模光纤依次熔接而成，其中，所述第一单模光纤与柚子型

光纤的熔接面作为法布里珀罗干涉仪的第一反射面；所述柚子型光纤内部经氢氟酸溶液入

侵腐蚀，呈悬空的纤芯，即波导膜片；所述第二单模光纤呈平整圆膜状作为波纹膜片，与所

述柚子型光纤的熔接面为光滑平面作为法布里珀罗干涉仪的第二反射面，另一面设有微结

构。

2.根据权利要求1所述的基于法布里珀罗原理的双膜结构全石英光纤声压传感器，其

特征在于，所述的波纹膜片的微结构为矩形形状，也可为正弦、梯形、锯齿形。

3.根据权利要求1所述的基于法布里珀罗原理的双膜结构全石英光纤声压传感器，其

特征在于：所述的波导膜片通过选择性腐蚀后，制备出悬空的纤芯，也可为通过激光增材制

备或MEMS光刻制备而成。

4.根据权利要求3所述的双膜结构全石英光纤声压传感器中的波导膜片的制作方法，

其特征在于：所述腐蚀采用氢氟酸溶液、氢氧化钾溶液或氢氧化钠溶液恒温水浴腐蚀。

5.一种双膜结构全石英光纤声压传感器的制作方法，其特征在于，包括：

步骤1：制备形成单模‑柚子‑单模结构；

步骤1.1将单模光纤的一端和柚子型光纤的一端熔接，并确保熔接处平整度，熔接机的

熔接损耗小于0.1dB；

步骤1.2将带有尾纤接头的单模光纤的另一端接入三端口环形器的一个端口，并将环

形器的另外两个端口分别与宽带光源和光谱分析仪相连；

步骤1.3将步骤1.1中所得结构中柚子型光纤的另一端面剥去涂覆层并切割，且控制剩

余单模‑柚子结构中柚子光纤的长度，切割过程中通过观察步骤1.2所述的光谱分析仪的干

涉光谱，以此获得最佳法布里珀罗干涉腔长；

步骤1.4将所述柚子型光纤的另一端熔接单模光纤，并确保熔接处平整度,熔接机的熔

接损耗小于0.1dB，形成单模‑柚子‑单模结构；

步骤2：波导膜片的制备：

步骤2.1通过飞秒激光的减材加工方式在所述单模‑柚子型‑单模结构的柚子型光纤部

分的上表面和下表面，制备出相同间距的一系列阵列微孔；

步骤2