原创力文档*薄膜的形成过程及生长方式*现在是1页\一共有20页\编辑于星期五目录5.1薄膜生长过程概述5.2形核阶段5.3薄膜生长过程与薄膜结构习题现在是2页\一共有20页\编辑于星期五5.1、薄膜生长过程概述薄膜的生长可划分为两个不同阶段：新相的形核阶段薄膜的生长阶段5.1.1形核形核是薄膜的诞生阶段，从本质上讲是一个气－固相变的过程。现在是3页\一共有20页\编辑于星期五薄膜通常通过材料的气态原子凝聚而形成。在薄膜形成的最早阶段，原子凝聚是以三维方式开始的，然后通过扩散过程核长大形成连续膜
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