2026—2027年针对先进制程中检测到的单原子缺陷进行原位修复的原子级制造与修复装备原理样机获国家未来产业孵化基金不计回报投入.pptxVIP

;目录;;摩尔定律逼近物理极限下的范式危机与原子级精准制造的历史性机遇窗口;“不计回报投入”的本质：国家对基础性、颠覆性、引领性原创技术长周期培育的战略决心与新型举国体制体现;从“修复缺陷”到“赋能制造”：原子级修复装备如何反向定义新一代芯片设计规则与架构;原理样机的象征意义与产业灯塔效应：为何它是撬动万亿美元半导体生态的支点;;多模态原位表征融合：如何将扫描隧道谱、单光子发光谱与二次离子质谱数据实时关联以精准“指认”缺陷化学身份;亚纳米精度闭环运动控制：压电陶瓷致动器、激光干涉计量与自适应算法的三重奏如何实现探针与束流的稳定定位;真空与极端环境集成：超高真空、极低温与抗振设计如何为原