《纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法》.docxVIP

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ICS

FORMTEXT77.120.99

CCS

FORMTEXTH65

团体标准

T/FORMTEXTCASMESFORMTEXTXXXX—FORMTEXTXXXX

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FORMTEXT纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法

FORMTEXTTestmethodforbufferingcapacityofnanoceriumdioxidepolishingliquid

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FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

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FORMTEXT中国中小企业协会??发布

STYLEREF标准文件_文件编号T/CASMESXXXX—XXXX

STYLEREF标准文件_文件编号T/CASMESXXXX—XXXX

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目次

TOC\o1-1\h前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4测试原理 1

5试剂与仪器 1

6样品制备 2

7测试步骤 2

8数据处理 3

9精密度 4

10注意事项 4

11试验报告 4

附录A（规范性）标准溶液标定方法 6

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由内蒙古科技大学提出。

本文件由中国中小企业协会归口。

本文件起草单位：内蒙古科技大学、××××、××××

本文件主要起草人：×××、×××、×××

纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法

范围

本文件规定了纳米二氧化铈抛光液缓冲能力的测试原理、试剂与仪器、样品制备、测试步骤、数据处理、精密度、注意事项和试验报告。

本文件适用于以纳米二氧化铈为主要磨料，分散于水相体系（含或不含分散剂、络合剂等添加剂）的抛光液，包括电子级、光学级等各类应用场景的纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T622化学试剂盐酸

GB/T629化学试剂氢氧化钠

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T27501pH值测定用缓冲溶液制备方法

术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

纳米二氧化铈抛光液nanoceriumdioxidepolishingliquid

以粒径为（1～100）nm的二氧化铈为主要磨料，经分散处理后形成的稳定分散体系，用于光学玻璃、半导体晶圆等材料表面抛光的液体产品。

缓冲能力buffercapacity

抛光液体系抵抗pH值变化的能力，用单位体积抛光液在加入强酸（盐酸）或强碱（氢氧化钠）后，pH值变化1个单位所需酸或碱的物质的量表示，单位为mmol/L·pH。

测试原理

通过向纳米二氧化铈抛光液中定量滴定标准浓度的盐酸（HCl）或氢氧化钠（NaOH）溶液，利用pH计实时监测体系pH值变化，记录pH值变化1个单位时消耗的酸或碱体积。根据滴定剂浓度、消耗体积及样品体积，按公式计算抛光液的酸缓冲能力和碱缓冲能力，核心反映抛光液体系对酸碱干扰的抵抗能力。

试剂与仪器

试剂

盐酸（HCl）：分析纯，符合GB/T622的规定，配制成0.1mol/L标准溶液，其浓度按附录A.1的方法标定，浓度误差不超过±0.002mol/L。

氢氧化钠（NaOH）：分析纯，符合GB/T629的规定，配制成0.1mol/L标准溶液，其浓度按附录A.2的方法标定，浓度误差不超过±0.002mol/L。

标准缓冲溶液：pH=4.00、6.86、9.18（25℃），用于pH计校准。

去离子水：符合GB/T6682一级水要求，电导率小于或等于0.01mS/m。

仪器

pH计：精度不低于0.01pH，符合GB/T27501的规定，配备玻璃复合电极。

恒温水浴锅：控温精度不低于±0.1℃，温度范围20℃～50℃